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超短脉冲激光微纳刻蚀机理与工艺优化研究
目录
TOC\o1-3\h\z\u一、超短脉冲激光与材料相互作用机理 3
1、超短脉冲激光与材料相互作用基础理论 3
非线性吸收与多光子电离过程 3
等离子体形成与能量传递机制 4
2、不同材料体系的响应特性研究 5
金属材料的电子激发与晶格响应 5
半导体材料的带隙调控与缺陷形成 7
介电材料的击穿阈值与改性机理 8
二、微纳刻蚀工艺参数优化研究 9
1、激光参数对刻蚀质量的影响分析 9
脉冲宽度与重复频率的优化匹配 9
能量密度与聚焦特性的调控策略 11
2、加工环
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