微机电系统柔性MEMS器件的P-S-N图示例.pdfVIP

GB/TXXXX202X/IEC62047-43:2024

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附录A

（资料性）

柔性MEMS器件的P-S-N图示例

MEMSA.1

作为柔性器件的一个示例，图显示了由印刷在纸基底上的银浆组成的柔性布线。纸基底

100mm33mm0.27mm1mm0.5mm0.2mm

的尺寸是：长、宽、厚。在纸基底上印刷了宽度分别为、、

的三种不同的布线（下文中，分别用、和代表宽、宽和宽的布线）。在本示例

RBG1mm0.5mm0.2mm

中，为了将纸基底对折，可将一部分基底预先切除，纸基底通过双面胶固定到铰链上，引线通过螺栓和

螺母连接到端电极，以测量柔性布线的电阻衰减情况。这些具有自身功能特征的组件在这里被称为目标

部件，其性能将按本文件进行评估。特定的目标部件的定义没有严格地给出，也不受尺寸、材料、特征

A.2

的限制，而是根据特定器件进行灵活定义。在这个示例中，使用图所示的装置进行了循环弯曲测试，

RGBA.3PSNA.3

同时测量了、、布线的电导率，并随后绘制了如图所示的--图。图中的归一化电导率图

是通过计算、、布线上归一化电导率的平均值获得的。

RGB

当柔性MEMS器件受到弯曲变形时，首先以单向递增的方式，器件性能可能会降低，这种行为在图

A.3P-S

中呈现为平面上的曲线。然后，将可移动加载壁移回到最大弯折距离并进行循环弯曲测试，循环

A.3

弯曲测试中的性能衰减呈现为图中的曲线，这些曲线从第一次单向弯曲时获得的性能衰减行为的中

NA.3

间点向轴方向分叉。根据最小弯折距离的大小，分叉点的位置会变化为如图所示的三点。这些线

SNPSNA.330-70L

在-空间上形成了一个曲线面，以--图的形式呈现性能衰减行为。在图中，图例“”和

“”表示在最小弯折距离为和最大弯折距离为下的测试数据，大写字母“”在这

30-70UL30mm70mmL

里用于表示“加载”，即在最小弯折距离时测量电导率。与之相比，“”表示“卸载”，即在最大

UL

弯折距离下测量。

PSNPSNA.4

--表面还取决于最大弯折距离，即--表面由于改变最大弯折距离而分离。图呈现了图

A.3PSNS=30mmPN30mm

中--表面在最小弯折距离时的二维-横截面，分别绘制了在最小弯折距离为时

RGB

、、布线的归一化电导率曲线。

图A.1试件纸基底上的