原创力文档*由于采用MBE、MOCVD(金属有机化学汽相淀积)等高精度控制制作工艺、微机械加工技术和CMOS大型或特大型集成多路传输器，不但实现了对大型二维凝视IRFPA进行大容量高速信号处理，而且获得了高度均匀性的阵列焦平面响应特性和高的量子效率,可分辨温差近一步降低。红外焦平面阵列器件发展现状和发展趋势2、高性能IR焦平面阵列*由于采用MBE、MOCVD(金属有机化学汽相淀积)等高精度控制制作工艺、微机械加工技术和CMOS大型或特大型集成多路传输器，不但实现了对大型二维凝视IRFPA进行大容量高速信号处理，而且获得了高度均匀性的
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