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硅基CMOS集成光电探测器阵列：高响应率的技术突破与应用探索

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代信息技术飞速发展的浪潮中，光电子技术已成为推动众多领域进步的核心力量，其应用范围涵盖了通信、图像传感、生物医学、环境监测以及工业自动化等诸多关键领域。其中，硅基CMOS集成光电探测器阵列作为光电子技术的重要组成部分，凭借其独特的优势，在光通信和图像传感等领域展现出不可替代的重要性。

在光通信领域，随着大数据、云计算以及5G、物联网等技术的迅猛发展，对高速、大容量、低功耗的光通信系统的需求呈爆发式增长。硅基CMOS集成光电探测器阵列作为光通信系统中实现光信号到电信号转换的关键器件，其性