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厚膜电容式微位移传感器的设计、信号处理与性能优化研究

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科学技术飞速发展的今天，微位移测量技术作为一项关键支撑技术，在众多领域中发挥着举足轻重的作用。微位移传感器作为实现微位移测量的核心器件，其性能的优劣直接影响到相关领域的发展水平与应用效果。从半导体芯片制造的纳米级刻蚀，到航空航天器姿态控制的毫秒级响应，再到生物医学领域细胞级动态监测的显微镜下，高精度微位移传感器正以皮米级分辨率重新定义“精密”的边界，成为推动各领域技术进步的核心引擎。

传统的微位移传感器主要基于电阻、电感或压电效应等物理原理进行测量。然而，这些传统传感器在实际应用中面临着诸多挑战。