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高频等离子工异常处理考核试卷及答案

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高频等离子工异常处理考核试卷及答案

考生姓名：答题日期：判卷人：得分：

题型

单项选择题

多选题

填空题

判断题

主观题

案例题

得分

本次考核旨在检验学员对高频等离子工异常处理知识的掌握程度，确保学员能够正确识别、分析和处理实际工作中可能遇到的高频等离子设备异常情况，提高设备运行稳定性和工作效率。

一、单项选择题（本题共30小题，每小题0.5分，共15分，在每小题给出的四个选项中，只有一项是符合题目要求的）

1.高频等离子体设备在启动时，应首先（）。

A.开启冷却水系统

B.接通电源

C.加载样品

D.开启气路

2.高频等离子体设备运行时，如果发生设备过热，应立即（）。

A.继续运行

B.停止运行，检查原因

C.调整参数

D.提高气体流量

3.在进行高频等离子体处理时，如果出现设备跳闸，首先应（）。

A.检查电源线路

B.检查设备接地

C.检查气体流量

D.检查设备冷却水系统

4.高频等离子体设备在运行中，如果发现等离子体功率不足，应（）。

A.提高电压

B.增加气体流量

C.调整频率

D.以上都是

5.高频等离子体设备在操作过程中，发现气体压力异常降低，应（）。

A.检查气体供应系统

B.调整气体流量

C.检查设备密封性

D.以上都是

6.高频等离子体设备运行时，若发现等离子体颜色异常，应（）。

A.调整气体流量

B.增加冷却水流量

C.检查气体纯度

D.以上都是

7.高频等离子体设备在停机后，应（）。

A.立即关闭电源

B.停止气体供应

C.检查设备状态

D.以上都是

8.高频等离子体设备在操作过程中，发现电极磨损严重，应（）。

A.调整电压

B.更换电极

C.调整频率

D.以上都是

9.高频等离子体设备运行中，如果发生电极脱落，应（）。

A.立即停止运行

B.检查电极固定

C.调整电压

D.以上都是

10.高频等离子体设备在操作过程中，如果发现设备振动异常，应（）。

A.检查设备基础

B.调整参数

C.检查设备冷却系统

D.以上都是

11.高频等离子体设备在停机后，应（）。

A.关闭电源

B.检查设备状态

C.清理设备

D.以上都是

12.高频等离子体设备在操作过程中，如果发现气体泄漏，应（）。

A.停止运行

B.检查泄漏点

C.调整气体流量

D.以上都是

13.高频等离子体设备在运行中，如果发现设备噪音异常增大，应（）。

A.调整参数

B.检查设备连接

C.增加冷却水流量

D.以上都是

14.高频等离子体设备在操作过程中，发现设备控制面板显示异常，应（）。

A.检查控制面板

B.重启设备

C.调整参数

D.以上都是

15.高频等离子体设备在运行中，如果发现等离子体电流异常增大，应（）。

A.调整电压

B.检查设备连接

C.调整频率

D.以上都是

16.高频等离子体设备在操作过程中，发现设备温度异常升高，应（）。

A.调整参数

B.检查冷却系统

C.增加冷却水流量

D.以上都是

17.高频等离子体设备在停机后，应（）。

A.关闭电源

B.检查设备状态

C.清理设备

D.以上都是

18.高频等离子体设备在操作过程中，发现气体纯度不足，应（）。

A.更换气体

B.调整气体流量

C.检查气体供应系统

D.以上都是

19.高频等离子体设备在运行中，如果发现设备电压异常，应（）。

A.检查电源线路

B.调整电压

C.检查设备接地

D.以上都是

20.高频等离子体设备在操作过程中，发现等离子体形状异常，应（）。

A.调整参数

B.检查气体纯度

C.调整气体流量

D.以上都是

21.高频等离子体设备在运行中，如果发现设备电流异常减小，应（）。

A.调整电压

B.检查设备连接

C.调整频率

D.以上都是

22.高频等离子体设备在操作过程中，发现设备绝缘性能下降，应（）。

A.检查绝缘材料

B.调整参数

C.增加冷却水流量

D.以上都是

23.高频等离子体设备在停机后，应（）。

A.关闭电源

B.检查设备状态

C.清理设备

D.以上都是

24.高频等离子体设备在操作过程中，发现设备压力异常升高，应（）。

A.停止运行

B.检查设备密封性

C.调整气体流量

D.以上都是

25.高频等离子体设备