真空计全面介绍.pptVIP

第1页，共33页，星期日，2025年，2月5日大綱簡介分類各式真空計介紹第2页，共33页，星期日，2025年，2月5日單位換算1ATM=760Torr=76cmHg=1.01325x105Pa=1.01325x105(N／m3)=1.01325bar第3页，共33页，星期日，2025年，2月5日真空計簡介

真空氣壓計（Vacuumpressuregauges）簡稱真空計（Vacuumgauges）。是依據各種物理原理來量測壓力或分子數目的多少。第4页，共33页，星期日，2025年，2月5日真空計之分類

依量測範圍分：(1)粗略真空計量測範圍：760~1Torr(2)中度空計量測範圍：1~10－３Torr(3)高度真空計量測範圍：10-3~10－7Torr(4)超高真空計(Ultrahighvacuum)量測範圍：10-7Torr以下依工作原理分：液體靜態真空計機械式真空計熱傳導式真空計半導體式真空計黏滯性真空計?離子化真空計?氣體分壓分析儀氦氣測漏儀電容式真空計第5页，共33页，星期日，2025年，2月5日機械式真空計

利用(容器內)氣體粒子之熱速度作用於(容器內)受力表面來直接量測壓力之真空計第6页，共33页，星期日，2025年，2月5日壓力天平

(重錘活塞式壓力計-deadweightpressuregauge)PTEST=F／A+PREF=Mg／A+PREF依使用介質分:液壓式壓力天平:(最大量測範圍1.379kPa至413.685MPa)氣壓式壓力天平:(最大量測範圍1.379kPa至103.421MPa)第7页，共33页，星期日，2025年，2月5日液位壓力計(基於連通管原理)?左圖為最常見U形管液位壓力計?液位壓力計使用介質有水、油、水銀，而水和油適用於低範圍差壓之量測，而水銀因為密度較大的多(約13.6倍)，所以適用於高範圍差壓之量測第8页，共33页，星期日，2025年，2月5日特殊之變形U形管結構U形管架構斜管式架構單槽式架構雙槽式架構第9页，共33页，星期日，2025年，2月5日雙槽式壓力計:Schwien原級水壓壓力計

BAT原級壓力計

單槽式壓力計:HassA1大氣壓力計第10页，共33页，星期日，2025年，2月5日薄膜式真空計（DiaphragmManometer）量測壓力範圍：1500Torr～1Torr。可追加2組自動控制設定模組。線性0～1.5VDC輸出訊號，可與電腦連線。第11页，共33页，星期日，2025年，2月5日電容式真空計

為薄膜真空計(DiaphragmGage)的一種，利用薄膜兩邊壓力不同而使薄膜偏移，以改變電極間之距離，並使電容也因而改變，故可求得壓力之變化。目前利用電容式原理製造之真空計，其量測範圍可從數十倍大氣壓力至１０－５（１０－３Pa）。以電容式真空計作為轉移準器時值得注意的是，溫度變化的影響很大，因此沒有溫度控制裝置時，必須對溫度變化的影響作詳細評估。第12页，共33页，星期日，2025年，2月5日電容式真空計典型代表:MKSBaratron690A

(廣為光電，半導體及航空公司所採用)第13页，共33页，星期日，2025年，2月5日派藍尼真空計（PiraniGauge）中級真空範圍下使用最為廣泛的真空計。量測壓力範圍：1ATM～10-4mbar。內藏調整設定點，適應製程控制，消除雜訊。低輸出阻抗及完整的法拉屏壁設計消除雜訊。第14页，共33页，星期日，2025年，2月5日Piranigauge(派藍尼真空計)

特色：中級真空範圍(1-10-3Torr)下使用最為廣泛

具有一條高電阻溫度係數材料製程的燈絲，適當電流通過時，燈絲溫度可保持在100℃至130℃第15页，共33页，星期日，2025年，2月5日定電壓式PiraniGauge原理真空壓力↑，熱傳導帶走熱能，燈絲溫度↓，燈絲電阻值↑，電流↓。反之真空壓力↑，電流↓。?直接從電流表A觀察電阻值變化，經過適當的轉換校正，可由電流表A直接讀取真空壓力值。第16页，共33页，星期日，2025年，2月