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脉冲激光沉积类金刚石薄膜：工艺参数与薄膜质量的关联性探究

一、引言

1.1研究背景

类金刚石薄膜（Diamond-LikeCarbon,DLC）作为一种新型的碳基薄膜材料，自被发现以来便受到了广泛关注。它是一种含有大量sp3键的非晶碳膜，具备一系列优异的性能，在众多领域展现出巨大的应用潜力。

在力学性能方面，类金刚石薄膜具有极高的硬度，其硬度范围通常在20-80GPa之间，部分甚至可接近天然金刚石的硬度，能够有效提高材料表面的耐磨性，大幅延长相关零部件的使用寿命。在摩擦学性能上，DLC膜拥有低摩擦系数，一般在0.1-0.3之间，在一些特殊工况下，摩擦系数可低至