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精细陶瓷干湿环境下陶瓷薄膜的摩擦磨损评价方法

1范围

本文件规定了在干燥和高湿环境中测试精细陶瓷薄膜的耐磨性和摩擦系数的方法，适用厚度大约在

1μm及以下，并且沉积在衬底或基底上的薄膜，包括薄衬底或非常薄的有机聚合物薄膜基底上的薄膜。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T6062产品几何技术规范(GPS)表面结构轮廓法接触(触针)式仪器的标称特性（ISO3274,

IDT）

GB/T18778.1产品几何量技术规范(GPS)表面结构轮廓法具有复合加工特征的表面第1部分:

滤波和一般测量条件（ISO13565-1,IDT）

GB/T18778.2产品几何量技术规范(GPS)表面结构轮廓法具有复合加工特征的表面第2部分：用线

性化的支承率曲线表征高度特性（ISO13565-2,IDT）

ISO20507精细陶瓷（先进陶瓷，先进技术陶瓷）术语[Fineceramics(advancedceramics,advanced

technicalceramics)–Vocabulary]

注：GB/T17991—2009精细陶瓷术语（ISO20507:2003，MOD）

3术语和定义

ISO20507界定的以及下列术语和定义适用于本文件。

3.1

磨损wear

由于相对接触物体的运动，导致固体材料表面不断损耗或不断错位的现象。

3.2

摩擦力frictionalforce

当接触的物体相互运动或倾向于相互滑动时，施加在对方物体上的阻力。

3.3

摩擦系数frictioncoefficient

摩擦力与施加的法向力的无量纲比值。

3.4

磨损试验weartest

评价接触滑动运动引起的摩擦磨损特性的试验。

注：“磨损试验”，狭义上，是指试样表面由于接触滑动运动产生磨损的过程；广义上，是指样品制备、磨损形成、

摩擦系数测量、对磨材料上形成的磨痕和磨损部分进行评价等程序。

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3.5

干燥腔dryingchamber

当试样保持在真空状态时，用于消除试样表面水分的密封容器。

3.6

相对湿度relativehumidity

在一定温度下，水蒸气分压与饱和蒸汽压之比。

3.7

干燥的空气dryair

在101.3kPa的绝对压强下，露点为-60℃或更低温的空气。

3.8

干燥的氮气drynitrogen

在101.3kPa的绝对压强下，露点为-60℃或更低温的氮气。

4试验样品

选用沉积在硅片、玻璃、有机聚合物薄膜或其他类似的衬底或基底上的，厚度大约在1μm及以下

的精细陶瓷薄膜。如果试样能够安装在本文所述的磨损测试仪上，则试样的尺寸和形状无特殊要求。但

是，磨损形成区域的薄膜厚度应是均匀的。

5测量原理

环境湿度和薄膜曾经受潮情况对陶瓷薄膜的磨损性能有显著影响。因此，宜通过测定薄膜试样在干

燥和高湿环境中的磨损来准确地评价薄膜试样的耐磨性。

应使用往复磨损形成法或旋转磨损形成法作为磨损评价方法。EN1071-12中给出了往复磨损试验方

法的原理细节。ISO20808和EN1071-13中给出了旋转磨损试验方法的原理细节。

本文件涉及两种方法，即往复磨损试验方法和旋转磨损试验方法。附录B提供了使用往复磨损试验

方法和旋转磨损试验方法进行试验的结果示例。

6试验室环境

测量应在温度和湿度变化最小的位置进行。具体而言，测试应在以下环境条件下进行：

a)试验室温：（23±2）℃；

b)试验室相对湿度：70%或更低。

注：如果试验室的温度低，磨损测试仪上会形成冷凝。

7磨损形成试验仪器

7.1往复磨损试验机

往复磨损试验机的构成应包括：夹持薄膜试样的试样支架、往复移动薄膜试样的驱动器、夹持并固

定球形压头的支架、对球形压头施加恒定载荷的加载机构、摩擦力检测机构和控制试验环境的密封机构。

图1为往复磨损试验机的试样夹持系统示意图。E