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CN120099497A 适用于化学气相沉积装备的大流量气体发生器及供给方法 （杭州阿童木科技有限公司）.docxVIP

CN120099497A 适用于化学气相沉积装备的大流量气体发生器及供给方法 （杭州阿童木科技有限公司）.docx

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    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN120099497A(43)申请公布日2025.06.06

    (21)申请号202510590425.0

    (22)申请日2025.05.08

    (71)申请人杭州阿童木科技有限公司

    地址311422浙江省杭州市银湖街道中国

    智谷富春园区14号楼8楼829室

    (72)发明人郑一格吴波睿蒋李清

    (74)专利代理机构无锡迅牛知识产权代理事务所(普通合伙)32731

    专利代理师吕永芳

    (51)Int.CI.

    C23C16/455(2006.01

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