调频连续波激光测量关键技术的改进方法研究.pdfVIP

摘要

频率调制连续波（FrequencyModulatedContinuousWave,FMCW）激光雷达

凭借其测量精度高、无测量死区以及抗干扰能力强等优点，不论是在大型装备制

造、航空航天等大尺寸测量领域，还是在生物医疗、微电子等微小尺寸测量领域，

都得到了广泛应用。所以对调频连续波测量系统关键技术的进一步研究具有十分

重要的意义。本文着眼于调频连续波测量系统的探测范围、测量分辨力以及线性

调频实现距离和速度同时测量三个关键点进行了研究，主要内容如下：

1、分析了调频连续波激光测量对静态和动态目标进行测量的基本原理以及

双向啁啾测量的优势。分析了调频非线性对测量精度的影响和调频带宽对测量分

辨力的影响。详细介绍了等光频间隔重采样的非线性校正法，并搭建了等光频间

隔重采样的调频连续波激光测量实验系统，进行了基本的对比实验。

2、对等光频间隔重采样的双光路干涉系统结构进行了优化，在不改变辅助

延迟长光纤的情况下，将测量系统的探测范围扩大为原来的3倍。实验采用光程

为30.275676m的长光纤，测量系统的最大探测距离原本应为7.568919m。而本

文利用优化后的系统成功实现了对18m范围内的目标的测量，并且进行了误差

分析，说明了优化后的测量系统仍具有较好的性能。

3、提出了一种利用多激光源进行同时扫频的信号拼接测量方法，在尽可能

降低系统复杂度的前提下，可有效提高调频连续波测量系统的分辨力。解决了要

求高分辨力的场合下，需要使用相干长度小，体积庞大，成本较高的宽带扫频激

光源的窘境。除了设置10个激光源进行仿真外，还利用两个相同的激光源进行

了实验，成功将系统分辨力提高了近两倍，测量了约2.6m处的目标，得到各组

的测量标准差小于21μm，将10个测量值平均后，最大测量误差小于20μm。

4、为了解决调频非线性问题，并且实现快速运动目标距离速度的同时测量，

提出了一种基于电光调制的双向啁啾调频连续波测量方法。用电光调制器对种子

激光进行双边带调制，对微波驱动信号进行扫频，将其高线性度扫频传递给激光

的同时，实现向上向下的同步扫频。实验实现了6GHz带宽的线性扫频测量，和

激光干涉仪的对比结果与理论一致。仿真实现了20m范围内、速度为3m/s的

目标测量，最大误差小于6mm；对10m处、速度在18m/s范围内的目标进行

了测量，最大误差小于0.6mm/s。由此，验证了所提出方案的可行性和准确性。

关键词：调频连续波，激光测量，探测范围，测量分辨力，双向线性啁啾

ABSTRACT

Frequencymodulatedcontinuouswave(FMCW)LiDARiswidelyusedinlarge-

sizemeasurementfieldssuchaslarge-scaleequipmentmanufacturing,aerospace,or

micro-sizemeasurementfieldssuchasbiomedicalandmicroelectronicsduetoits

advantagessuchashighmeasurementaccuracy,nomeasurementdeadzoneandstrong

anti-jammingability.Therefore,itisofimportantsignificancetofurtherstudythe

FMCWmeasurementsystem.ThisthesisfocusesonthethreekeypointsofFMCW

measurementsystem,whicharethedetectionrange,measurementresolutionand

measuringsimultaneouslydistanceandspeedbylinearfrequencymodulation,themain

contentsareasfollows:

1.ThebasicprinciplesofFMCWlasermeasuremen