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高频域功率变换器厚膜集成技术研究
目录
文档概览．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3
1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4
1.2功率变换器技术发展趋势．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7
1.3厚膜集成技术概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7
1.4高频域功率变换器厚膜集成技术研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．11
1.5本文研究内容及目标．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14
高频域功率变换器原理与分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17
2.1高频域功率变换器分类．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18
2.2常见高频功率变换电路拓扑分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22
2.2.1电压模式变换器．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24
2.2.2电流模式变换器．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25
2.2.3谐振变换器．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．28
2.3高频域功率变换器关键性能指标．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29
2.4高频损耗分析与建模．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．34
厚膜集成技术基础．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．38
3.1厚膜技术制备工艺流程．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．40
3.2厚膜材料及特性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．43
3.2.1电阻材料．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．48
3.2.2电容材料．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．53
3.2.3电感材料．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．55
3.2.4绝缘材料．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．60
3.3厚膜器件特性及参数．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．62
3.4厚膜集成电路设计方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．63
高频域功率变换器厚膜集成关键技术研究．．．．．．．．．．．．．．．．．．．66
4.1厚膜功率器件集成技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．67
4.1.1厚膜功率MOSFET集成．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．69
4.1.2厚膜功率二极管集成．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．71
4.2厚膜无源元件集成技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．75
4.2.1厚膜电阻网络集成．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．79
4.2.2厚膜电容网络集成．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．81
4.2.3厚膜电感网络集成．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．83
4.3厚膜厚膜集成电路封装技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．84
4.4基于厚膜集成的高频域功率变换器设计实例．．．．．．．．．．．．．．．．86
基于仿真与实验的验证．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．88
5.1仿真模型建立与验证．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．89
5.1.1仿真软件选择与模型搭建．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．91
5.1.2仿真结果分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．92
5.2实验平台搭建与测试．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．94
5.2.1实验平台设计．．．．．．．．．．．．．．
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