电子束蒸发沉积重掺硅薄膜的制备、性能及多元应用探索.docx

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2025-09-30 发布于上海
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电子束蒸发沉积重掺硅薄膜的制备、性能及多元应用探索

一、引言

1.1研究背景与意义

在半导体领域，硅材料占据着极为重要的地位，堪称固态电子器件的核心原材料，其产量和使用量已成为衡量一个国家电子工业发展水平的关键指标。硅薄膜作为硅材料的一种重要存在形式，凭借其独特的物理特性，如良好的光电性能、较高的载流子迁移率等，以及出色的工艺特性，在众多领域展现出广泛的应用前景。目前，硅薄膜在硅基太阳电池、传感器及光电子器件等方面的应用已较为成熟。在硅基太阳电池中，硅薄膜能够有效吸收太阳光并将其转化为电能，为解决能源危机提供了一种可行的途径；在传感器领域，硅薄膜对特定物质具有敏感的电学响应，可用于制备