《微机电系统(MEMS)材料腐蚀芯片及传感器 第4部分:元器件选型及测试》.docxVIP

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  • 2025-09-30 发布于河南
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《微机电系统(MEMS)材料腐蚀芯片及传感器 第4部分:元器件选型及测试》.docx

ICS77.060CCSH25

中国腐蚀与防护学会团体标准

T/CSCP0059.4-2025

微机电系统(MEMS)材料腐蚀芯片及传感

第4部分:元器件选型及测试

Micro-Electro-MechanicalSystems(MEMS)materialcorrosionchip

andsensor——

Part4:Componentselectingandtesting

2025-09-01发布2025-10-01实施

中国腐蚀与防护学会发

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