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微纳结构原位加工分析系统性能测试方法发展报告

摘要

本报告针对基于聚焦离子束/电子束双束显微镜原理的微纳结构原位加工分析系统，系统阐述了制定性能测试方法标准的目的意义、适用范围及主要技术内容。随着国内电镜设备市场的快速增长和国产化进程的加速，建立统一的性能测试方法标准对于规范仪器验收、推动国产替代、提升行业技术水平具有重要战略意义。报告详细介绍了原位加工分辨力、原位加工漂移、原位成像分辨力和原位成像测长重复性等关键性能指标的测试方法，为行业提供了科学、规范的技术指导。

要点列表

-国内聚焦离子束系统年进口量已超过1000台，市场被国外厂商垄断

-国产电镜设备制造商已具备与国际一流产品竞争的