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椭偏仪实验:膜厚与折射率测量分析.pdf

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童力P

实验目的,实验原理:详见实验预习报

实验内容:

1、调节载物台水平、光路共轴;

2、定位起偏器、检偏器、调整偏振片;

3、本次实验选取的是4号样本,其中

膜厚度理论值:d=440nm

折射率理论值:n=2.0

o

将待测样品放置在载物台,调整望远镜筒至320,开始测量:

o

(1)将波片于起偏器的夹角调整至45,测得光线最暗时检偏器和起偏器的角

度,如下表所示:

检偏器角度A起偏器角度P

oo

第一次测量92.9168.7

oo

第二次测量78.879.6

o

(2)将波片于起偏器的夹角调整至315,测得光线最暗时检偏器和起偏器的角

度,如下表所示:

检偏器角度A起偏器角度P

oo

第一次测量83.615.9

oo

第二次测量95.3106.0

(3)利用所的分析软件,可计算得:

膜厚度计算值:d1=411.7nm

折射率计算值:n=2.0

TongliP

Experimentpurposeandexperimentprinciple:see

theexperimentpreviewreportfordetails.

Experimentcontent:

1.Adjustthelevelofthestageand

thecoaxialityoftheopticalpath;2.

Positionthepolarizer,analyzer,and

adjustthepolarizer;3.SampleNo.4

wasselectedforthisexperiment.

Theoreticalvalueoffilmthickness:d

=440nm

Theoreticalvalueofrefractive

index:n=2.0

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