FomingGasSMC流量表调校方法.pptxVIP

Shinkawa设备

SMCGasflowswitch调整方法

SMCFlowSwitchPFM型号识别

注意：UTC-5000设备Airtension和wiretension为两款不同型号FlowSwitch(流量侦测范围不同).

PFM750S-01L-A-M

2.PFM710S-01L-A-M

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SMCFlowSwitch(PFM710S-C6-A)

流量表量程：FlowRate:0.2~10L/MMaxPress:0.75Mpa(7.5Kg/cm²)

流量表线路：棕色：+24V蓝色：0V黑色：Out1白色:Out2

气路接法：左进/右出

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SMCFlowSwitch(PFM710S-C6-A)

S功能键

上档键

流量调节

Out2状态灯

Out1状态灯

LED显示屏

下档键

按键用法：S键按一下：进入Out1/Out2侦测范围设定

S键长按3秒钟以上:进入/退出模式设定

S键长按5秒钟以上:Lock/UnLock

上/下键按一下：数位调节

上/下键组合长按1S以上：复位归零S键+下键按5秒以上：密码模式下密码设定

锁定螺丝

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SMCFlowSwitch(PFM710S-C6-A)

Out1/Out2上下限设置:

按S键1次

调整上下键

按S键1次

调整上下键

Out1下限

Out1上限

按S键1次

调整上下键

Out2设置

说明：Out2未使用，数值设定可按S键直接跳过

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SMCFlowSwitch(PFM710S-C6-A)

模式设定:

F0

单位设定

F1

Out1设置

F2

Out2设置

F3

气体类型设置

F4

量测温度条件设置

F5

响应时间设置

F6

流体显示模式设置

F7

清零模式设置

F8

量测分辨率设置

F9

自动预设功能设置（仅限Out1）

F10

累计流量设置

F11

模拟型号过滤功能（该型号不具备此功能）

F12

节电模式

F13

密码模式设置

F98

设置全开功能

F99

恢复初始化

长按S键

调整上下键

模式设置

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SMCFlowSwitch(PFM710S-C6-A)

F1设置（OUT1设置）

F1设置

长按S键

按S键1次

调整上下键

Win:实时流量模式

ADD:流量累加模式

PLS:流量累加脉冲输出模式

HYS:滞后模式

输出模式

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SMCFlowSwitch(PFM710S-C6-A)

按S键1次

按上下键

F1设置（OUT1设置）

P与N代表：NormalOutput/ReversedOutput

输出信号+5V/0V

按S键1次

调整上下键

信号模式

Out1下限

按S键1次

调整上下键

Out1上限

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SMCFlowSwitch(PFM710S-C6-A)

按S键1次

按上下键

流量累加（ADD）与流量累加脉冲模式（PLS）的滞后设定

滞后设置

F1设置

调整上下键

字体颜色（color）设置

按S键1次

ON：绿

Off：红

ON：红

Off：绿

长红显示

长绿显示

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SMCFlowSwitch(PFM710S-C6-A)

F2设置（OUT2设置）

进入F2

按S键1次

按上键1次

F2与F1设置完全相同

输出模式

说明：1.Out2未接线，因此F2设置无意义

2.显示颜色以F1设置显示

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SMCFlowSwitch(PFM710S-C6-A)

F3设置（气体类型设置）

进入F3

按S键/上键

按S键1次

调整上下键

干燥空气/N2

Ar2

CO2

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SMCFlowSwitch(PFM710S-C6-A)

F4设置（量测温度条件设置）

进入F4

按S键/上键

按S键1次

调整上下键

Standard:20℃

Reference:0℃

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SMCFlowSwitch(PFM710S-C6-A)

F5设置（响应时间设置）

进入F5

按S键/上键

按S键1次

按上/下键

响应时间

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SMCFlowSwitch(PFM710S-C6-A)

F6设置（流体显示模式设置）

进入F6

按S键/上键

按S键1次

按上/下键

显示模式

ADD：量测并显示累计流量

INS：量测并显示瞬间流量

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SMCFlowSwitch(