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2023年第52卷第9期热加工工艺ISSN1001-3814
Vol.52No.92023HotWorkingTechnologyCN61-1133/TG
引用格式：徐晓伟，王斐，冉瑞应，等.213mm大直径单晶硅直拉法制备过程的热场模拟研究[J].热加工工艺，2023,52(9)：72-75.
DOl:10.14158/ki.1001-3814
铸造技术riggy@
http:/riggy@
213mm大直径单晶硅直拉法制备过程的
热场模拟研究
徐晓伟1，王斐，冉瑞应，李军1
(1.上海交通大学材料科与工程学院，上海200240；2.银川隆基硅材料有限公司，宁夏银川750021)
摘要：基于有限体积法得到单晶炉腔内的温度场，研究加热功率、晶体转速以及转速对液-固界面的影响。计
算结果表明，加热功率对液-固界面及热场影响显著，加热功率的精确控制对于稳定的液-固界面至关重要；在一定范
围内，晶体转速的增加会使得液-固界面的位置出现抬升，而埚转速对液-固界面的影响不太明显。
关键词：大直径单晶硅；直拉法；加热功率；晶体转速；转速；数值模拟
中图分类号：TG249.9文献标识码：A
SimulationStudyofThermalFieldof213mmLarge-diameterSiCrystal
GrowingbyCzochralskiMethod
XUXiaoweil,WANGFei,RANRuiying,LIJun
(1.SchoolofMaterialsScienceandEngineering,ShanghaiJiaoTongUniversity,Shanghai200240,China;2.YinchuanLongi
SiliconMaterialsCo.,Ltd.,Yinchuan750021,China)
Abstract:Basedonthefinitevolumemethod,thetemperaturefieldinthesinglecrystalfurnacecavitywasobtained,and
theinfluenceofheatingpower,crystalrotationspeedandcruciblerotationspeedontheliquid-solidinterfacewasstudied.The
calculationresultsshowthattheheatingpowerhasasignificantinfluenceontheliquid-solidinterfaceandthethermalfield,
andprecisecontroloftheheatingpowerisveryimportantforastableliquid-solidinterface;withinacertainrange,the
increaseofthecrystalrotationspeedwillcausetheliquid-solidinterfacetomoveupwards,whilethecruciblerotationspeed
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