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半导体辅料制备工应急处置操作规程

文件名称：半导体辅料制备工应急处置操作规程

编制部门：

综合办公室

编制时间：

2025年

类别：

两级管理标准

编号：

审核人：

版本记录：第一版

批准人：

一、总则

本规程适用于半导体辅料制备过程中的应急处置操作。要求所有操作人员必须熟悉并遵守本规程，确保在发生意外情况时能够迅速、正确地进行处置，以保障人员安全和设备完好。规程包括但不限于辅料制备、储存、运输等环节的应急处置措施，旨在提高应急处置能力，减少事故损失。

二、操作前的准备

1.人员准备：

a.操作人员应经过专业培训，熟悉半导体辅料制备工艺流程和应急处置知识。

b.操作人员应穿戴符合要求的防护服、防护手套、防护眼镜和防尘口罩等个人防护装备。

c.操作人员应了解应急预案，掌握应急处置流程和操作步骤。

2.设备准备：

a.确认设备运行正常，无异常噪音、振动、泄漏等现象。

b.检查设备安全防护装置是否完好，如紧急停止按钮、安全门等。

c.确认设备清洁，无杂质、残留物等影响正常运行的物质。

3.环境检查：

a.检查操作区域是否存在易燃、易爆物品，确保环境通风良好。

b.检查地面、墙面、设备表面是否存在油污、水渍等，防止滑倒事故。

c.检查电气线路、插座等是否存在破损、老化现象，确保用电安全。

4.物料准备：

a.核对物料清单，确保所使用的辅料符合生产工艺要求。

b.检查物料包装是否完好，无破损、泄漏等现象。

c.核对物料存放位置，确保存放环境符合要求。

5.应急物资准备：

a.检查应急物资（如灭火器、急救箱、防护服等）是否在位、完好。

b.确认应急物资存放位置明显，便于快速取用。

c.定期检查应急物资的有效期，确保其在有效期内。

6.应急预案培训：

a.组织操作人员进行应急处置预案培训，使其熟悉应急预案内容和操作步骤。

b.定期组织应急演练，提高操作人员的应急处置能力。

7.通讯设备准备：

a.确保通讯设备畅通，如对讲机、电话等。

b.检查通讯设备电量，确保在应急情况下能够正常使用。

三、操作的先后顺序、方式

1.操作顺序：

a.首先进行人员安全检查，确保操作人员穿戴好防护装备。

b.检查设备状态，确认设备处于正常工作状态。

c.检查环境条件，确保操作区域安全、通风良好。

d.按照物料清单准备所需辅料，核对无误后进行称量。

e.将辅料按照规定的工艺流程加入设备，开始制备过程。

f.在制备过程中，定期检查设备运行情况，确保工艺参数稳定。

g.制备完成后，对产品进行质量检查，确认合格后方可入库或下一道工序。

2.作业方式：

a.操作人员应按照规定的作业指导书进行操作，不得擅自更改工艺参数。

b.操作过程中应保持专注，密切观察设备运行状态和工艺参数变化。

c.如发现异常情况，应立即停止操作，并按照应急预案进行处置。

d.操作人员应相互配合，确保作业流程的顺畅。

3.异常处置：

a.设备故障：立即停止设备运行，切断电源，并通知维修人员进行检修。

b.物料泄漏：立即关闭泄漏源，穿戴防护装备，使用适当的吸附材料进行清理，并通风换气。

c.火灾：立即使用灭火器进行灭火，并通知消防部门，同时组织人员疏散。

d.人员伤害：立即停止操作，进行现场急救，并通知医疗部门。

e.环境污染：立即停止污染源，采取隔离、清理等措施，并通知环保部门。

4.记录与报告：

a.操作人员应详细记录操作过程中的各项参数和异常情况。

b.对于发生的异常情况，应立即向上级管理人员报告，并按照规定进行记录和存档。

5.结束工作：

a.操作完成后，清理工作区域，确保无残留物料和污染物。

b.关闭设备，切断电源，并进行安全检查。

c.填写操作记录，确认无误后签字确认。

四、操作过程中设备的状态

1.正常状态指标：

a.设备运行平稳，无异常振动和噪音。

b.设备温度和压力在规定范围内，无过热或过压现象。

c.电流、电压等电气参数稳定，无波动或异常。

d.输出产品符合质量标准，无杂质和缺陷。

e.设备润滑系统正常，无润滑脂泄漏。

f.设备安全防护装置完好，无损坏或失效。

2.异常现象识别：

a.设备出现异常振动或噪音，可能存在机械故障。

b.设备温度或压力超出正常范围，可能存在过热或过载风险。

c.电流、电压波动或异常，可能存在电气故障。

d.输出产品出现杂质或缺陷，可能存在工艺参数问题。

e.润滑脂泄漏，可能存在润滑系统故障。

f.安全防护装置损坏或失效，可能存在安全隐患。

3.状态监测方法：

a.定期检查设备外观，观察是否有损坏、泄漏等异常情况。

b.使用温度计、压力计等仪器，实时监测设备温度和压