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1.5电磁透镜的像差和理论分辨本领是透镜的色差系数,大致等于其焦距,是电子能量的变化率。随磁激电流的增大而减少.成像电子束的变化率色差影响因素第62页,共82页,星期日,2025年,2月5日1.3.2静电透镜定义:把能使电子波折射聚焦的具有旋转对称等电位曲面簇的电极装置叫做静电透镜。静电透镜与一定形状的光学介质界面(如玻璃凸透镜的旋转对称弯曲折射界面)可以使光线聚焦成像相似,一定形状的等电位曲面族也可使电子束聚焦成像。1.3电子在静电场中的运动和静电透镜第30页,共82页,星期日,2025年,2月5日1.3电子在静电场中的运动和静电透镜第31页,共82页,星期日,2025年,2月5日1.3.2静电透镜静电透镜有二极式和三极式,他们分别由两个或三个具有同轴圆孔的电极(膜片或圆筒)组成。1.3电子在静电场中的运动和静电透镜第32页,共82页,星期日,2025年,2月5日静电透镜的局限性:早期的电子显微镜中使用静电透镜,由于静电透镜需要很强的电场,往往在镜筒内导致击穿和弧光放电,尤其是在低真空度情况下更为严重。因此电场强度不能太高,静电透镜焦距较长,不能很好的矫正球差。1.3电子在静电场中的运动和静电透镜1.3.2静电透镜第33页,共82页,星期日,2025年,2月5日静电透镜的应用:在现在电子显微镜中,除了在电子枪中使电子束会聚成形,已不再使用静电透镜而改用磁透镜。1.3电子在静电场中的运动和静电透镜1.3.2静电透镜第34页,共82页,星期日,2025年,2月5日第一节电子光学基础1.1光学显微镜的局限性1.2电子的波性以及波长1.3电子在静电场中的运动和电子透镜1.4电子在磁场中的运动和磁透镜1.5电磁透镜的像差和理论分辨本领1.6电磁透镜的场深和焦深第35页,共82页,星期日,2025年,2月5日1.4.1电子在磁场中的运动1.4电子在磁场中的运动和磁透镜运动电子在磁场中受到Lorentz力作用,其表达式为:?????????????????????????式中:e---运动电子电荷;v----电子运动速度矢量;B------磁感应强度矢量;F-----洛仑兹力F的方向垂直于矢量v和B所决定的平面,力的方向可由右手法则确定。第36页,共82页,星期日,2025年,2月5日1.4.1电子在磁场中的运动1.4电子在磁场中的运动和磁透镜Lorentz力在电荷运动方向上的分量永远为零,因此该力不作功,不能改变电荷运动速度的大小,只能改变它的运动方向,使之发生偏转。第37页,共82页,星期日,2025年,2月5日1.4.1电子在磁场中的运动1.4电子在磁场中的运动和磁透镜电子在磁场中的受力和运动有以下三种情况:①v与B同向:电子不受磁场影响第38页,共82页,星期日,2025年,2月5日1.4.1电子在磁场中的运动1.4电子在磁场中的运动和磁透镜电子在磁场中的受力和运动有以下三种情况:②v与B垂直:电子在与磁场垂直的平面做均匀圆周运动。第39页,共82页,星期日,2025年,2月5日1.4.1电子在磁场中的运动1.4电子在磁场中的运动和磁透镜电子在磁场中的受力和运动有以下三种情况:③v与B交角θ:电子是一螺旋线。第40页,共82页,星期日,2025年,2月5日1.4.1电子在磁场中的运动1.4电子在磁场中的运动和磁透镜电子在磁场中的受力和运动有以下三种情况:①v与B同向:电子不受磁场影响②v与B垂直:电子在与磁场垂直的平面做均匀圆周运动。③v与B交角θ:电子是一螺旋线。第41页,共82页,星期日,2025年,2月5日1.4电子在磁场中的运动和磁透镜1.4.2磁透镜把能使电子波聚焦的具有旋转对称非均匀的磁极装置叫做磁透镜。第42页,共82页,星期日,2025年,2月5日1.4电子在磁场中的运动和磁透镜1.4.2磁透镜恒磁透镜:恒磁体提供磁场。电磁透镜:电磁线圈激磁。电磁透镜比恒磁透镜使用方便和广泛第43页,共82页,星期日,2025年,2月5日1.4电子在磁场中的运动和磁透镜1.4.2磁透镜电磁透镜第44页,共82页,星期日,2025年,2月5日1.4电子在磁场中的运动和磁透镜1.4.2磁

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