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emmiemmi失效分析的原理失效分析的原理
失效分析对半导体行业至关重要，EMMI
号转换为可见图像，直接显示失效点位置。
EMMI
置对应滤波器。
统方法需逐层去封装排查，EMMI在通电状态下直接锁定漏电区域位于PMOSPMOS管栅极边缘，后续FIB
切片验证栅氧存在针孔缺陷。实验室数据显示，EMMI将失效定位时间从48小时缩短至3小时。
根据器件参数施加反向偏压或工作电压，电流控制在μA至mAmA级；开启冷却型CCD
信号，积分时间通常为30-300
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