第4章 压力传感器.pptVIP

表4一1进气压力传感器的额定值与特性返回第61页，共94页，星期日，2025年，2月5日表4一2IC大气压传感器的规格返回第62页，共94页，星期日，2025年，2月5日表4一3可靠性试验项目返回第63页，共94页，星期日，2025年，2月5日表4一4微压力传感器的规格返回第64页，共94页，星期日，2025年，2月5日表4一5可靠性试验项目返回第65页，共94页，星期日，2025年，2月5日表4一6高压传感器的基本规格返回第66页，共94页，星期日，2025年，2月5日4.5半导体微差压力传感器4.5.4加工工艺(1)硅片工艺(2)元件工艺(3)性能检查上一页下一页返回第29页，共94页，星期日，2025年，2月5日4.5半导体微差压力传感器4.5.5半导体微差压力传感器的额定值及可靠性评价半导体微差压力传感器的额定值见表4-4，其性能保证压力范围非常宽，达到了1.33x10-4~13.3kPa。微差压力传感器装于发动机舱内，所以其工作环境温度为-30℃~110℃。半导体微差压力传感器的可靠性试验项目见表4-5。此外，还要进行汽车特有的环境试验项目及装车试验，各项目均没有问题的话，说明传感器性能良好。通过上述各项试验就可以确认:半导体微差压力传感器在发动机进气歧管这种苛刻的条件下使用时，将具有足够的可靠性。上一页返回第30页，共94页，星期日，2025年，2月5日4.6发动机控制用小型压力传感器4.6.1传感器的种类与特点对发动机进气量的测定，一般采用的方法是测定通过进气管的空气量，市场上销售的采用电子燃油控制的汽车几乎都采用这种方法，作为检测通过进气管的空气量的方法，可以分为采用压力传感器的间接检测方式和利用空气流量计的直接检测方式。每种方式各有长短，从装车性与价格上看，优秀的是压力传感器，从测试精度上看，优秀的是空气流量传感器。下一页返回第31页，共94页，星期日，2025年，2月5日4.6发动机控制用小型压力传感器4.6.2小型压力传感器(1)检测原理。压力检测部位的工作原理是利用了半导体压电电阻效应，在硅片表面的特定方向上，利用离子注入法等形成四个应变片电阻，在其内部利用异向蚀刻法形成膜片部分。在硅片的膜片部分的表面和里面产生压力差的场合下，硅片内所产生的压缩、拉伸张力，使膜片处的测量电阻的阻值发生变化。上一页下一页返回第32页，共94页，星期日，2025年，2月5日4.6发动机控制用小型压力传感器(2)检测元件部分.形成有膜片的硅片在减少封装产生的热应力的玻璃底座上形成阳极，同时由于在膜片内部空间形成了真空封装，同时也形成了基准压力腔，也就是说，过去要构成压力腔还需要金属封装，现在则可以取消金属封装，因此，就可以减少部件的数量与实现小型化。此外，从结构上来看，因为被测压力是从与真空腔相反的一侧加上来的，因此与过去不同，在传感器元件的表面需要经涂敷与胶凝形成表面的保护层，以便确保和原来具有同等水平的耐环境性。利用钻结法将底座钻结到注塑成型的传感器模块上。(3)电路的构成.上一页下一页返回第33页，共94页，星期日，2025年，2月5日4.6发动机控制用小型压力传感器4.6.3特点(1)小型化(2)无焊锡结构(3)耐污损特性与防堵塞性上一页返回第34页，共94页，星期日，2025年，2月5日4.7利用微控制器技术的高压传感器4.7.1高压传感器的特点(1)采用微控制器结构，将所有部件都布置在一片管芯上。(2)采用受压面积最小的封装结构。(3)最大限度利用上述(1)、(2)两点制成体积最小的产品。(4)通过独特的膜片加工工艺提高部件的耐压性能。(5)传感器的使用场合:相对压力或测量压力最大为5MPa.下一页返回第35页，共94页，星期日，2025年，2月5日4.7利用微控制器技术的高压传感器4.7.2高压传感器的构成对于制造高压传感器来说，一般都是把批量生产低压传感器(100~400kPa)的技术，加以总结提高，再应用到高压传感器的生产上。高压传感器的信号处理器是由高精度放大器和调整电路构成的，高精度放大器的作用是放大惠斯顿电桥输出的电压信号，调整电路的作用是修正传感器的特性。此外，对汽车发动机控制系统所产生的过电压波形、总成生产工序内产生的静电、还有外部进入的电磁波等，都靠在CMOS内所形成的内部电路加以保护，相关的保护元件都设置在微控制器内.上