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公司半导体辅料制备工设备安全操作规程

文件名称：公司半导体辅料制备工设备安全操作规程

编制部门：

综合办公室

编制时间：

2025年

类别：

两级管理标准

编号：

审核人：

版本记录：第一版

批准人：

一、总则

本规程适用于公司半导体辅料制备工在操作半导体辅料制备设备过程中的安全操作。适用于所有涉及半导体辅料制备的设备，包括但不限于搅拌机、过滤器、干燥设备等。操作人员应熟悉本规程，并严格遵守各项安全规定，确保生产过程安全、稳定。规程内容涵盖设备操作前的准备、操作过程中的注意事项以及事故应急处理等。

二、操作前的准备

1.防护用具的正确使用方法：

-操作人员应穿戴符合国家安全标准的防护服，包括防静电服、耐酸碱手套、防护眼镜和耳塞。

-防静电鞋是必须的，以防止静电引起的安全事故。

-操作过程中，不得佩戴戒指、手表、项链等可能接触设备的饰品。

-防护用具应定期检查，确保无破损或磨损，如有异常应及时更换。

2.设备启机前的检查项目：

-检查设备外观是否有损坏，特别是电气接口、传动装置等关键部位。

-检查设备是否清洁，特别是过滤器和搅拌器等易积聚杂质的部件。

-检查设备的安全防护装置是否完好，如紧急停止按钮、安全防护罩等。

-检查设备电气线路是否正常，无裸露电线或短路现象。

-检查设备润滑系统，确保润滑油充足，无泄漏。

-检查设备控制系统，确保操作面板功能正常。

3.作业区域的准备要求：

-操作区域应保持整洁，无杂物，确保操作通道畅通。

-作业区域应设有明显的警示标志，提醒操作人员注意安全。

-作业区域应配备必要的消防器材，如灭火器、消防砂等。

-操作前应确保通风良好，避免有害气体积聚。

-作业区域不得存放易燃易爆物品，如酒精、汽油等。

-操作人员应熟悉紧急疏散路线和逃生方法。

在进行操作前的准备时，操作人员应严格按照上述要求执行，确保设备处于良好的工作状态，作业环境安全，为后续的操作打下坚实的基础。

三、操作的先后顺序、方式

1.设备操作或工艺执行的步骤流程：

-清洁设备：在启动设备前，确保设备表面无灰尘、杂质，特别是过滤器和搅拌器等部件。

-检查物料：确认物料质量符合要求，无误混、变质等问题。

-设备预热：根据设备说明，进行预热，确保设备温度稳定。

-加载物料：按照规定的顺序和比例将物料加入设备。

-启动设备：按照设备操作规程，依次启动各个部分，确保设备运行正常。

-调节参数：根据工艺要求，调整温度、速度等参数。

-监控过程：操作过程中，持续监控设备运行状态和物料变化。

-停止设备：完成工艺步骤后，按照规程逐步停止设备各个部分。

-清理设备：操作结束后，对设备进行彻底清洁，并检查无残留物料。

2.特殊工序的操作规范：

-对于高温、高压等特殊工序，操作人员需经过专门培训，熟悉相关安全知识和操作技能。

-特殊工序开始前，应进行风险评估，并制定相应的应急预案。

-操作过程中，必须佩戴相应的防护用具，并确保所有人员远离危险区域。

-特殊工序完成后，应立即进行设备冷却和检查，确保无安全隐患。

3.异常工况的处理方法：

-发现异常工况时，立即停止设备运行，并通知相关人员。

-根据异常情况，采取相应的应急措施，如切断电源、释放压力等。

-对异常原因进行调查分析，找出问题所在，并采取措施防止类似事件再次发生。

-如异常情况可能导致安全事故，应立即启动应急预案，确保人员安全。

-对异常工况的处理过程进行记录，以便后续分析和改进。

在操作过程中，操作人员应严格按照步骤流程执行，对特殊工序和异常工况有清晰的认识和应对措施，确保生产过程的安全性和稳定性。

四、操作过程中机器设备的状态

1.设备运行时的正常工况参数：

-温度：设备运行时，应保持适宜的工作温度，避免过热或过冷。具体温度范围需根据设备型号和工艺要求设定。

-速度：搅拌器、输送带等运动部件的运行速度应稳定在规定的范围内，以确保物料均匀混合和输送。

-压力：对于高压设备，如过滤器、反应釜等，压力应保持在安全工作压力范围内，避免超压运行。

-流量：物料输送系统中的流量应稳定，符合工艺要求，以确保生产效率和质量。

-电流：设备运行时的电流应稳定，不应出现异常波动，否则可能指示设备存在问题。

-噪音：设备运行时应保持正常噪音水平，若噪音过大，可能是轴承、齿轮等部件磨损或损坏的迹象。

2.典型故障现象：

-异常高温：设备温度过高，可能是因为冷却系统故障、物料反应异常或设备磨损导致。

-设备震动：设备运行时出现剧烈震动，可能是轴承磨损、底座不稳或设备不平衡。

-噪音增大：设备噪音异常增大，可能是内部零件松动、轴承磨损或齿轮啮合不良。

-电流波动：设备