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激光诱导固体表面微纳结构的形成及其光谱响应.pdf

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    激光诱导固体表面微纳结构的形成及其光谱响应

    摘要

    近些年，表面微纳结构加工技术受到广泛关注并在很多领域得到了应用。表面

    微纳加工的技术有很多种，如化学气相沉积方法、离子束刻蚀、纳米压印技术、极

    紫外光刻技术以及飞秒激光诱导周期性结构（LaserInducedPeriodSurfaceStructure，

    LIPSS）技术。飞秒激光诱导周期性结构与其他表面微结构加工技术相比，拥有许多

    独特的优点：首先它是一步式、无掩模的加工，简化了加工流程，降低了加工成本；

    其次飞秒激

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