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Vol.45No.012025.01船电技术|应用研究
微机械开关传感器的集成电路应用研究
韩科，刘雪飞，李奕龙，李浩楠
（中国人民解放军海军潜艇学院，山东青岛266042）
摘要：基于微机械开关结构的传感器，作为微机械加工技术与传统电化学传感器技术相结合的产物，已
经展现出其在新一代传感器技术中的独特优势。本文对各类微机械开关传感器进行了综合测试，其目的是
为综合比较不同微型传感器的性能及优势，为日后硅基板微加工技术的进一步探索提供相应支撑，同时也
为微机械开关传感器在船舶开关电器的发展方面提供新的探索思路。本文经测试研究表明各类传感器在反
应速度、样品量需求、灵敏度以及人体植入监测等方面均表现出不同的优势与特点，随着元件尺寸的缩小，
传感器的性能得到了显著提升。随着硅基微机械加工技术的不断提升，传感器元件的尺寸有望进一步缩小，
推动电化学传感器技术的进一步发展。
关键词：微机械开关；传感器；加工
中图分类号：TP212；O657.1文献标识码：A文章编号：1003-4862（2025）01-0029-06
Researchonintegratedcircuitapplicationofmicro-mechanicalswitch
sensors
HanKan,LiuXuefei,LiYilong,LiHaonan
(NavySubmarineAcademy,Qingdao266042,Shandong,China)
Abstract:Sensorsbasedonmicro-mechanicalswitchstructures,asaproductofthecombinationof
micro-machiningtechnologyandtraditionalelectrochemicalsensortechnology,havealreadydemonstrated
theiruniqueadvantagesinthenextgenerationofsensortechnology.Thispaperconductscomprehensive
testsonvariousmicro-mechanicalswitchsensorswiththeaimofcomparingtheperformanceand
advantagesofdifferentminiaturesensors,providingsupportforfurtherexplorationofsilicon-basedboard
micro-machiningtechnology,andprovidingnewexplorationideasforthedevelopmentofshipswitchdevices
usingmicro-mechanicalswitchsensors.Thetestresearchshowsthatvarioussensorshavedifferent
advantagesandcharacteristicsintermsofreactionspeed,samplevolumerequirements,sensitivityand
humanimplantmonitoring.Theirperformancehasbeensignificantlyimprovedasthesizeofthecomponents
hasbeenreduced.Withthecontinuousimprovementofsilicon-basedmicro-machiningtechnology,thesizeof
thesensorcomponentsisexpectedtobefurthe
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