2025至2030中国电子特种气体国产化突破现状与供应链安全评估报告
目录
TOC\o1-3\h\z\u一、中国电子特种气体行业发展现状分析 3
1、产业整体发展概况 3
年前电子特种气体国产化基础与瓶颈 3
年产业发展阶段性特征与演进趋势 4
2、主要产品类别与应用领域分布 6
高纯气体、掺杂气体、蚀刻气体等细分品类国产化进展 6
在集成电路、显示面板、光伏等下游领域的渗透率变化 7
二、国产化技术突破与核心能力评估 9
1、关键技术攻关进展 9
高纯度提纯、痕量杂质控制、气体分析检测等核心技术突破 9
关键设备与材料
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