碳纳米管与石墨烯：纳米集成电路互连线的革新与展望.docx

碳纳米管与石墨烯：纳米集成电路互连线的革新与展望

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代信息技术飞速发展的浪潮中，集成电路作为各类电子设备的核心部件，其性能的提升对整个电子行业的发展起着至关重要的作用。随着摩尔定律的不断推进，集成电路的小型化趋势愈发明显，器件的特征尺寸持续缩小，这使得传统的互连线材料面临着前所未有的挑战。

以铜互连线为例，当集成电路进入纳米尺度后，铜互连线中的电子散射效应显著增强，尤其是晶界散射和表面散射，导致其电阻率大幅增加。这种电阻率的上升不仅会引发严重的电子迁移现象，使得互连线的使用寿命大幅缩短，还会导致互连线的热稳定性下降，在高电流密度下容易产生过热问题，影响集成电