硅单晶的制备 (2).ppt

硅单晶的制备(2)第1页，共23页，星期日，2025年，2月5日一、多晶硅的制备多晶硅是硅的多晶体，与硅单晶体的显著区别在于部分晶格原子的无序排列；但多晶硅是制备单晶硅的原始材料。高纯硅的制备通常首先由硅石（二氧化硅）制得工业硅（粗硅—纯度低、杂质多），再制成高纯多晶硅，经拉制得到半导体材料单晶硅，或称硅单晶。第2页，共23页，星期日，2025年，2月5日多晶硅制备方法原理——还原与分解常见的多晶硅制备方法主要有三种：四氯化硅氢还原法三氯氢硅氢还原法硅烷热分解法多晶硅制备原理与方法第3页，共23页，星期日，2025年，2月5日四氯化硅氢还原法第一步：四氯化硅制备第二步：四氯化硅提纯1、精馏法—分馏四氯化硅溶液中各化合组分沸点不同，选取适当的温度可以将其分离。第4页，共23页，星期日，2025年，2月5日四氯化硅氢还原法2、吸附法——固体吸附法利用分子极性进行分离，判断化学键的极性与分子的极性。判断：CCl4、H2、H2O2四氯化硅为非极性分子，三氯化磷为极性分子，选择一种吸附剂，能对极性分子有吸附力，对非极性分子没有吸附力。第5页，共23页，星期日，2025年，2月5日四氯化硅氢还原法活性氧化铝：极性吸附剂—同性相吸，异性相斥严格