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光刻工岗位职业健康及安全操作规程

文件名称：光刻工岗位职业健康及安全操作规程

编制部门：

综合办公室

编制时间：

2025年

类别：

两级管理标准

编号：

审核人：

版本记录：第一版

批准人：

一、总则

本规程适用于光刻工岗位的日常操作，旨在确保员工在光刻过程中的人身安全和健康，防止事故发生，保障生产顺利进行。通过规范操作流程，提高员工安全意识，降低职业危害，确保公司生产安全和员工健康。

二、操作前的准备

1.劳动防护用品：操作前必须穿戴符合国家标准的安全帽、防护眼镜、防尘口罩、防静电工作服、手套等防护用品，确保身体各部位得到有效保护。

2.设备检查：检查光刻机、光源、真空泵等设备是否正常，包括设备外观、电路、气路、油路等，确保设备处于良好工作状态。

3.环境要求：确保操作区域通风良好，温度适宜，避免高温、高湿、强光等不良环境因素影响操作。

4.工作场地：清理工作区域，确保无杂物、油污、积水等，防止滑倒、触电等事故发生。

5.原料和化学品：检查原料和化学品是否在有效期内，储存条件是否适宜，避免因过期、变质或不当储存导致的安全隐患。

6.个人健康：操作前进行健康检查，如有感冒、发热、皮肤过敏等不适症状，应暂时离岗，确保操作安全。

7.操作指导：熟悉光刻操作流程和注意事项，遵守操作规程，确保操作正确无误。

三、操作步骤

1.设备启动：按照设备操作手册的步骤，依次启动光刻机、光源、真空泵等设备，确保设备正常运行。

2.工件准备：将待光刻的工件放置在正确的位置，确保工件表面无污渍、划痕等影响光刻质量的问题。

3.光刻胶涂抹：使用涂胶工具均匀涂抹光刻胶，注意控制厚度，避免过厚或过薄影响光刻效果。

4.烘干处理：将涂有光刻胶的工件放入烘箱中，按照设定的温度和时间进行烘干，确保光刻胶固化。

5.曝光：将烘干后的工件放置在光刻机曝光台上，根据工艺参数调整曝光时间、功率等，进行曝光操作。

6.显影：曝光完成后，按照工艺要求选择合适的显影液和显影时间，对工件进行显影处理。

7.去胶：显影后，使用去胶液去除未曝光区域的光刻胶，注意控制去胶时间和温度，避免损伤工件表面。

8.干燥：去胶完成后，将工件放置在干燥器中，进行干燥处理，防止水分残留影响后续工艺。

9.检查：对光刻后的工件进行质量检查，确保光刻图案准确无误，无缺陷。

10.关闭设备：操作完成后，按照设备操作手册的步骤，依次关闭光源、光刻机、真空泵等设备，确保设备安全关闭。

11.清洁：清理操作区域，包括设备、工具和工件，确保工作环境整洁。

四、设备状态

1.良好状态：

-设备运行平稳，无异常噪音或震动。

-光源亮度稳定，无闪烁或暗区。

-真空泵工作正常，真空度达到工艺要求。

-气路系统无泄漏，气体流量符合设定值。

-传感器和控制系统显示正常，无报警信号。

-光刻胶涂抹均匀，无气泡或杂质。

-显影液和去胶液质量稳定，无分层或沉淀。

2.异常状态：

-设备出现异常噪音或震动，可能存在机械故障。

-光源亮度不稳定，可能存在光源老化或电路问题。

-真空度低于标准，可能存在真空泵故障或泄漏。

-气路系统有泄漏，可能影响光刻质量或造成安全隐患。

-传感器或控制系统显示异常，可能存在电路故障或传感器损坏。

-光刻胶涂抹不均匀，可能影响光刻效果或导致设备污染。

-显影液或去胶液质量不稳定，可能影响显影效果或设备性能。

在发现设备异常状态时，应立即停止操作，进行初步检查，必要时联系维修人员进行专业诊断和维修。同时，记录异常现象和维修过程，以供后续分析和改进。

五、测试与调整

1.测试方法：

-光刻机性能测试：通过软件控制进行曝光时间、功率、分辨率等参数的测试，确保光刻机性能符合工艺要求。

-真空度测试：使用真空计测量真空泵的真空度，确保达到工艺规定的标准。

-显影液和去胶液性能测试：定期检测显影液和去胶液的pH值、浓度等，确保其性能稳定。

-光刻胶均匀性测试：使用显微镜检查光刻胶的涂抹均匀性，确保无气泡和杂质。

-设备精度测试：使用标准工件进行设备精度测试，确保光刻精度符合要求。

2.调整程序：

-光刻机调整：根据测试结果，调整曝光时间、功率等参数，确保光刻效果。

-真空度调整：检查真空泵和气路系统，修复泄漏点，重新测试真空度，直至符合标准。

-显影液和去胶液调整：根据测试结果，补充或更换显影液和去胶液，确保其性能。

-光刻胶涂抹调整：优化涂抹工具和方法，确保光刻胶涂抹均匀。

-设备精度调整：根据精度测试结果，调整设备机械结构或控制系统，提高光刻精度。

调整过程中，应严格按照操作规程进行，确保调整后的设备性能稳定，符合生产要求。同时，记录测试和调整结果，为后续工艺