第2章位移检测传感器之电容式.pptVIP

外筒内径传感器总高度内筒外径介质高度（三）变介质型电容位移传感器电容液位计设被测介质的相对介电常数为ε2，空气的相对介电常数为ε1，液位高度为h，传感器变换器高度为H，内筒外径为d，外筒内径为D液位传感器的等效电路C2C1C2r22r1hhx*第29页，共67页，星期日，2025年，2月5日变介质电容式液位传感器外筒内径内筒外径传感器总高度介质高度当液面高度为零时，传感器的初始电容值为：（三）变介质型电容位移传感器电容液位计*第30页，共67页，星期日，2025年，2月5日变介质电容式液位传感器外筒内径内筒外径传感器总高度介质高度有液体介质后传感器的电容值为：可见，电容式液位计具有线性输出特性。在用于位移或尺寸测量的变介质电容位移传感器，一般都具有较好的线性关系。故这种传感器可以测量液位、料位的高度。（三）变介质型电容位移传感器电容液位计*第31页，共67页，星期日，2025年，2月5日厚度传感器厚度传感器的等效电路CC1C2C3（三）变介质型电容位移传感器在用于位移或尺寸测量的变介质电容位移传感器，一般都具有较好的线性关系。但也有输入/输出呈非线性关系的。——下图中是一改变介质电容传感器，它的输入/输出呈非线性关系。极间介质材料可为纸、布或胶片，这种传感器可用于测量介质的厚度；也可通过测量介质的介电常数间接测量影响介电常数的某些量，如湿度、温度等。δd电容测厚仪*第32页，共67页，星期日，2025年，2月5日设极板形状为长方形，面积为S,两极板间的距离为d；被测物的厚度为δ（三）变介质型电容位移传感器厚度传感器的等效电路CC1C2C3δdε0——真空介电常数εr——介质的相对介电常数ε——介质的介电常数，ε=εrε0在空气中εr=1电容测厚仪εεr*第33页，共67页，星期日，2025年，2月5日δ电容测厚仪C1C3C2d——电容C与介质厚度δ介电常数ε之间的关系是非线性的*第34页，共67页，星期日，2025年，2月5日（四）容栅式电容位移传感器容栅位移传感器的工作原理容栅位移传感器是根据在间隙δ和介电常数ε一定的条件下，电容△C的变化量的大小与耦合面积△S变化量的大小成正比，因此容栅式传感器是在变面积型电容传感器的基础上发展起来的一种新型传感器。容栅位移传感器可分为两类，即长容栅位移传感器和圆容栅角位移传感器。*第35页，共67页，星期日，2025年，2月5日（四）容栅式电容位移传感器容栅位移传感器是将电容传感器中的电容极板刻成一定形状和尺寸的栅片，再配以相应的测量电路就构成了容栅测量系统。正是特定的栅状电容极板和独特的测量电路使其超越了传统的电容传感器，适宜进行大位移测量。容栅位移传感器的工作原理*第36页，共67页，星期日，2025年，2月5日（四）容栅式电容位移传感器见P19——图2-13a,1是固定容栅，2是可动容栅，在A、B面上分别印制（或刻划）一系列均匀分布并互相绝缘的金属（如铜箔）。固定容栅与可动容栅栅极面相对，中间留有间隙δ，形成一对对电容。当可动容栅相对固定容栅移动时每对电容面积发生变化，因而电容值随之变化，可测出线位移或角位移。容栅位移传感器的工作原理*第37页，共67页，星期日，2025年，2月5日（四）容栅式电容位移传感器长容栅位移传感器式中：n——为可动容栅的栅极数a、b——分别为栅极的宽度和长度（m)在测量位移时，动栅与定栅相覆盖的宽度发生变化，则覆盖面积发生变化，因此其电容量随之变化，所以根据所测电容量的变化可知位移的变化量。忽略电容边缘效应，长容栅的最大电容量为：*第38页，共67页，星期日，2025年，2月5日（四）容栅式电容位移传感器圆容栅位移传感器式中：R、r——栅极外半径和内半径（m）α——每条栅极所对应的圆心角（rad)动栅转动时使两栅之间的覆盖角由α变为αx,电容C随之变化。见P19——图2-13b,片状圆容栅的两圆盘1、2同轴安装，栅状成辐射状，可动容栅随被测对象一起转动。忽略电容边缘效应，圆容栅的最大电容量为：*第39页，共67页，星期日，2025年，2月5日容栅式传感器它在具有电容式传感器优点的同时，又具有多极电容带来的平均效应，分辨力高，提高了抗干扰能力、提高了测量精度(可达5um)、极大地扩展了量程(可达1m)，适宜进行大位移测量，对刻划精度和安装精度要求可有