烧结工艺对掺Al增强氮化铝陶瓷基板的显微结构和性能的影响.pdfVIP

2024年第53卷第24期热加工工艺ISSN1001-3814

Vol.53No.242024HotWorkingTechnologyCN61-1133/TG

DOI:10.14158/j.cnki.1001-3814.

http://www.rjrjggy@

烧结工艺对掺Al增强氮化铝陶瓷基板的

显微结构和性能的影响

赵世泽,林坤吉,张文铎,齐于杰,赵哲

(广东工业大学机电工程学院,广东广州510006)

摘要选用YO-Al作为烧结助剂采用流延成型法制备AlN陶瓷遥研究了排胶和烧结制度对AlN陶瓷的物相

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组成尧致密度尧显微组织尧热学及力学性能的影响遥结果表明真空-空气两步排胶法能够减缓排胶过程中Al的氧化制

备的AlN陶瓷第二相孤立分布在三角晶界处导率和弯曲强度分别比一步排胶法制备的陶瓷高2.5%和14.8%遥随着

烧结温度的升高第二相由YAG转变为YO/AlO比较高的YAP晶格氧含量下降遥经过1800℃烧结AlN陶瓷的

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导率和弯曲强度分别达到了171.23W窑m-1窑K-1和渊456.77依19.34冤MPa遥

关键词AlN陶瓷曰流延成型曰烧结温度曰排胶策

中图分类号TG148曰TQ174.75文献标识码A文章编号1001-3814(2024)24-0085-07

InfluenceofSinteringProcessonMicrostructureandProperties

ofAlDopedAluminumNitrideCeramicSubstrate

ZHAOShize,LINKunji,ZHANGWenduo,QIYujie,ZHAOZhe

(SchoolofElectromechanicalEngineering,GuangdongUniversityofTechnology,Guangzhou510006,China)

Abstract院YO-Alwaschosenasthesinteringadditive,AlNceramicswerepreparedthroughthetapecastingmethod.

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Theimpactsofthedebindingandsinteringprocessonthephasecom