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基于微区LIBS的光学元件表面疵病成分检测技术的深度剖析与创新研究

一、引言

1.1研究背景与意义

光学元件作为现代光学系统的核心组成部分，在众多前沿科技领域中发挥着不可或缺的关键作用。从先进的天文观测设备到精密的医疗诊断仪器，从高速发展的通信技术到引领未来的人工智能领域，光学元件的身影无处不在，其性能的优劣直接关乎整个系统的运行效能与应用效果。

在半导体制造领域，光刻技术依赖高精密光学元件实现芯片的微小化和高性能。若光学元件存在表面疵病，会导致光刻图案偏差，降低芯片性能和良品率。在医学成像中，光学元件表面疵病会降低图像清晰度和分辨率，影响医生对病变的准确判断，延误治疗时机。在激光加工领域，