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2025至2030中国特种气体电子级产品纯度提升与半导体领域应用拓展报告.docx

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    2025至2030中国特种气体电子级产品纯度提升与半导体领域应用拓展报告

    目录

    TOC\o1-3\h\z\u一、中国特种气体电子级产品行业发展现状 3

    1、电子级特种气体定义与分类 3

    高纯电子气体主要品类及特性 3

    电子级与工业级气体的纯度与杂质控制差异 5

    2、当前国内产能与技术水平 6

    主要生产企业产能布局与产品结构 6

    国产化率及对外依存度分析 7

    二、技术发展趋势与纯度提升路径 9

    1、高纯气体提纯与检测关键技术 9

    低温精馏、吸附、膜分离等核心提纯工艺进展 9

    痕量杂质在线检测与控制技术突破 10

    2、

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