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发展报告：Ⅲ族氮化物半导体材料极性的测定——透射电子显微镜法

摘要

本报告旨在阐述Ⅲ族氮化物半导体材料极性测定方法——透射电子显微镜法的立项目的、意义、范围及主要技术内容。作为第三代半导体的关键材料，Ⅲ族氮化物（如GaN）在光电子、功率电子和射频器件等领域具有广泛应用。然而，材料极性的精确测定对器件性能至关重要，现有技术缺乏统一标准。本方法基于高分辨扫描透射电子显微镜，结合球差校正技术和成熟的样品制备流程，提供了一种准确、普适的极性表征手段。报告强调了该方法在弥补技术空白、推动半导体产业自主创新中的战略价值，并概述了其适用范围和核心技术要素。

要点列表

-战略重要性：第三代半导体是信息技术产