扫描探针显微镜2讲课文档.pptVIP

扫描探针显微镜;优选扫描探针显微镜;例如：

（1）原子力显微镜（AFM）

（2）磁力显微镜（MFM）

（3）摩擦力显微镜（LFM）

（4）化学力显微镜（CFM）

（5）静电力显微镜（EFM）

我们主要介绍扫描隧道显微镜与原子力显微镜

;1.??扫描隧道显微镜

扫描隧道显微镜STM（ScanningTunnellingMicroscopy）是IBM苏黎世实验室的G.Binning和H.Rohrer博士及其同事发明的。

STM的研制工作始于1978年

;1982年在CaIrSn4单晶上获得第一张单原子台阶像

1983年获得第一张Si（111）—7×7表面重构像，从而宣告了具有原子级空间分辨能力的新一代显微镜的诞生。;1986年G.Binning和H.Rohrer与发明电子显微镜的E.Ruska一道获得诺贝尔物理学奖。

STM实验可以在大气、真空、溶液、惰性气体甚至反应性气体等各种环境中进行，工作温度可以从绝对零度到摄氏几百度。;用途广泛：

（1）可用于原子级空间分辨率的表面结构观测，用于研究各种表面化学过程和生物体系

（2）是纳米结构加工的有力工具，可用于制备纳米尺度的超微结构，还可用于操纵原子和分子等;1.1扫描隧道显微镜的工作原理及工作模式

工作原理：当探针与样品表面间距小到纳米量级﹙﹤1nm﹚时，经典力学认为，由于中间的空气将探针与样品表面隔开，探针与样品表面是不导电的；但从量子力学的观点来看，探针尖端的原子与样品表面的原子具有波动性，两者的波函数会发生重叠，;因此探针与表面之间会产生电流，该电流称隧道电流（见图26.1）;隧道电流的强度与针尖和样品间距S成指数关系，对间距S的变化非常敏感，STM就是利用这一原理来工作的。

它的工作模式有两种：

恒高模式

恒流模式

;①恒流模式：

探针在样品表面扫描时，通过反馈回路控制隧道电流恒定不变，即探针与样品表面相对距离保持恒定，这时探针沿xy平面内扫描时在z轴方向的运动就反映了样品表面的高低起伏，这种扫描模式叫恒流模式。

见图2.2（a）;第十二页，共79页。;②恒高模式：

探针在样品表面扫描时，使探针的绝对高度不变，这时探针与样品表面的相对距离就会改变，即隧道电流会改变，通过测量电流的变化来反映样品表面的高低起伏。这种扫描模式叫恒高模式。

（见图2.2（b）;恒电流模式是STM常用的工作模式，而恒高模式仅适用于对起伏不大的表面进行成像。

当样品表面起伏较大时，由于针尖离表面非常近，采用恒高模式扫描可能造成针尖与样品表面相撞，导致针尖与样品表面破坏。;1.2扫描隧道显微镜的装置

STM是一种近场成像仪器,针尖与样品之间的距离S通常小于1nm.

自从首次STM诞生以来,目前商品化的STM已采用了各种先进技术和多项改进系统.已成为一种先进的形貌观测仪器被广泛应用.但基本组成没有变化.;STM由下列几部分组成:

①振动隔绝系统

②机械传感系统

③电子控制系统

④探头(隧道针尖)

⑤计算机控制系统

STM的基本结构如图所示.;第十七页，共79页。;核心部件:探头,安装于STM主体箱内

电子控制系统:用于产生隧道电流并维

持其恒定,控制针尖扫描.

计算机系统:控制各个系统运动、收集、存

贮、处理获得信息和图像。

振动隔绝系统：保证系统工作不受外界振

动等干扰。;（1）振动隔离系统

由于STM工作时针尖与样品距离小于1nm,任何振动包括声波振动都会影响仪器稳定性,因此由振动引起的隧道间距变化必须小于0.001nm。

STM常用的振动隔离方法有三种：

①悬挂弹簧

②平板-弹性体堆垛系统

③冲气平台;悬挂弹簧：具有涡流阻尼的悬挂弹簧系统﹝见图2.5﹙a﹚﹞;悬挂弹簧是最为有效的振动隔离系统。如果STM单元有足够的刚性单级悬簧即可。

如果STM单元的刚性不够，或者在超高真空和低温环境下工作，则可采用二级悬簧并有涡流阻尼的振动隔离系统。

悬簧系统的缺点是尺寸大。

;第二十二页，共79页。;（2)平板-弹性体堆垛系统：由橡胶块分割的多块金属扳堆累而成，首先被用于袖珍型STM。

其问题是由于小尺寸使固有共振频率在10Hz左右。此种隔离方法仅对较高频率（50Hz）有效。

为了抑制低频振动，需要另外的悬簧。;(3)冲气平台：通常用做光学工作台，典型的固有