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芯片制造的步骤

简单地说,芯片的制造过程可以大致分为沙子原料(石英)、硅锭、晶圆、光刻(平版印刷)、蚀刻、离子注入、金属沉积、金属层、互连、晶圆测试与切割、核心封装、等级测试、包装上市等诸多步骤,而且每一步里边又包含更多细致的过程。

1:芯片是一块集成电路,是运算核心和控制核心。它的功能主要是解释指令以及处理计软件中的数据。当然,芯片的制造过程也代表了当今世界科技发展的最高水平。

2:硅是地壳内第二丰富的元素,沙子中含有25%的硅,是地壳中第二多元素,在经过氧化之后就成为了二氧化硅,在沙子中,尤其是石英中二氧化硅的含量非常高,这就是制造半导体的基础。

3:在采购原材料沙子后,将其中的硅进行分离,多余的材料被废弃,再经过多个步骤进行提纯,以最终达到符合半导体制造的质量,这就是所谓的电子级硅。它的纯度是非常大的,每10亿个硅原子中只有一个是不符合要求的。

4:一个被铸成锭后的电子级硅的单晶体,重量大约为100千克,硅的纯度达到了99.9999%。

5:铸好硅锭后,将进入切割阶段,将整个硅锭切成一片一片的圆盘,也就是我们俗称的晶圆,这样求切割出来的是非常薄的,随后,晶圆就要进行抛光,直至完美,表面如镜面一样光滑。

6:晶圆上涂上蓝色液体,这是类似胶片拍照时的光阻剂,晶圆不停旋转,以使其将液体均匀涂抹在晶圆上,并且涂层也是非常薄的。

7:用紫外光照射晶圆。紫外光先通过一个带有“图案”的“挡板”,其功能在于遮掉部分光线,使光线特定的形状照射在晶圆上。中间的透镜用于将光线汇聚于一个很小的范围。紫外光照射到感光物质上,发生类似于胶片感光的化学反应,使感光物质变得可溶。这样其实就将“挡板”上的“图案”,其实就是微电路的版图形状“影印”在了晶圆上。

8:晶体管相当于开关,控制着电流的方向。晶体管是芯片的基本组成单位。现在的工艺可以在一个针尖大小的面积内制造30万个晶体管。

9:光刻过程中曝光在紫外线下的光刻胶被溶解掉,清除后留下的图案和掩模上的一致。然后光刻,并洗掉曝光的部分。

10:再重新涂上蓝色的光阻剂(蓝色),并为下一步做好准备。图中蓝色部分为有感光材料保护的部分。

11:离子注入,也就是用离子轰击暴露地区的硅片,用离子撞击植入硅片的方式来改变这些地区硅的导电性,离子需要非常高速的撞击到晶圆表面上,通过电场加速后的离子速度可以达到每小时30万公里。

12:当离子注入后,光阻层将被移除,绿色部分的材料会掺入晚来的原子。

13:这时晶体管是接近完成,晶体管洋红色表面是保温层,上面有三个洞,这三个洞将用来填补铜,以便连接到其他晶体管。

14:在晶圆放入硫酸铜溶液这个阶段,铜离子的沉积到晶体管,这个过程被称为电镀。游离的铜离子分别到晶圆的积极终端(阳极)和消极终端(阴极)。

15:将多余的铜抛光掉,留下了非常薄的一层铜。

16:多金属层是建立各种晶体管的互连,虽然芯片看起来十分平坦,但实际上可能有超过20层,形成复杂的电路。

17:在这部分准备将晶圆建立第一个功能测试,在这个阶段的测试模式中输入每个单芯片,并监测比较芯片的反应,然后丢弃有瑕疵的内核芯片。

18:将晶圆切割成块,每一块就是芯片的内核。

19:这是一个被分离出来的的内核,Corei7,由上一道工序切割而成。

20:?将衬底(基片针脚)、内核、散热片堆叠在一起,就形成了我们看到的芯片的样子。

21:最后会对每个芯片进行测试。基于测试的结果,将测试OK的芯片归属一类,

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