电感耦合等离子体（ICP）蚀刻机市场分析：预计2031年全球市场销售额将达到332.9亿美元.docx

电感耦合等离子体（ICP）蚀刻机市场分析：预计2031年全球市场销售额将达到332.9亿美元

一、行业定义与核心价值

电感耦合等离子体（ICP）蚀刻机是半导体制造中的核心设备，通过高频电场激发气体形成高密度等离子体，实现对硅、金属及化合物材料的精密蚀刻。其核心优势在于高精度、低损伤、高均匀性，可满足5nm及以下先进制程需求。随着全球半导体产业向3D堆叠、EUV光刻等技术演进，ICP蚀刻机在逻辑芯片、存储器及先进封装领域的应用愈发关键。

二、供应链结构与区域格局

1.上游：原材料与核心部件

ICP蚀刻机上游成本占比中，真空腔体（25%）、射频电源（20%）、气体分配系统（15%）及精密机械部件