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研磨液输送系统行业分析：半导体是最大的下游领域，占58%的份额

一、行业定义与核心价值

研磨液输送系统（SlurryDeliverySystems），又称“抛光液供应系统”，是化学机械抛光（CMP）工艺中的核心设备，用于将抛光液精准输送至抛光机，确保流量、压力及成分稳定性，以实现单晶硅衬底、多层金属互连结构等材料的全局平坦化。作为半导体制造的关键环节，CMP技术是当前唯一能实现纳米级表面平整度的工艺，而研磨液输送系统的性能直接影响芯片良率与制造成本。

二、供应链结构与上下游分析

1.供应链结构

全球研磨液输送系统供应链呈现“核心部件-系统集成-终端应用”三级架构：

上游：泵、阀门、传感器