第09章谐振式传感器.pptVIP

可见高Q值的谐振子对于构成闭环自激系统及提高系统的性能是有利的，应采取各种措施提高谐振子的Q值。这是设计谐振式传感器的核心问题。影响谐振子Q值的因素主要有：材料自身的特性，加工工艺，谐振子的结构(边界状况及封装情况)和使用环境等。第29页，共65页，星期日，2025年，2月5日①谐振子的选择及其振动特性（即振动模态，包括谐振频率和振型）的分析、计算，确定谐振子的实际结构、参数及所敏感的振动特征参数。这部分工作的核心是建立谐振式传感器的模型，优化出一个高Q值、高灵敏度的谐振子；②检测源、激励源的选择以及谐振子的配合问题。主要包括它们与谐振子的相对位置的选择与激励能量大小的确定；③检测信号的接收、处理、转换及按幅相条件设计的放大电路。对于灵敏频率的谐振式传感器要在满量程内综合考虑，而敏感幅值比、相位差的谐振式传感器要合理设计出“双闭环”系统，并选择好参考位置。④引入恰当的补偿机制，解算检测信号，给出被测量。5设计要点第30页，共65页，星期日，2025年，2月5日综上所述，相对其它类型的传感器，谐振式传感器的本质特征与独特优势是：①输出信号是周期的，被测量能够通过检测周期信号而解算出来。这一特征决定了谐振式传感器便于与计算机连接，便于远距离传输；②传感器系统是一个闭环结构，处于谐振状态。这一特征决定了传感器系统的输出自动跟踪输入；③谐振式传感器的敏感元件即谐振子固有的谐振特性，决定其具有高的灵敏度和分辨率；④相对与谐振子的振动能量，系统的功耗是极小量。这一特征决定了传感器系统的抗干扰性强，稳定性好。6特征与优势第31页，共65页，星期日，2025年，2月5日三振弦式谐振传感器

（一）结构特点与工作原理顾名思义，传感器的谐振元件是一根张紧的金属丝，称为振弦。在电激励下，振弦按其固有频率振动。改变振弦的张紧力T，可以得到不同的振动频率f，即张紧力与谐振频率成单值函数关系。第32页，共65页，星期日，2025年，2月5日1.结构特点振弦式压力传感器的主要结构如图所示（1）振弦振弦是把待测压力值的变化转变为频率变化的敏感元件，对传感器的精度、灵敏度、稳定性起决定的作用。对振弦材料的要求是：①抗拉强度高。②弹性模量大。③磁性和导电性能好。④线膨胀系数小，尺寸随时间的稳定性好。第33页，共65页，星期日，2025年，2月5日第34页，共65页，星期日，2025年，2月5日（2）磁铁根据振弦振动的激发方式不同，可以只用一块磁铁，或者用两块性能相同的磁铁，见下图。磁场可以由永久磁铁或直流电磁铁产生，永久磁铁一般用AlNiCo-5硬磁合金制造。在采用电磁铁的场合，常把磁铁做成U形，电磁线圈安置在U形磁铁的一臂，这时，磁力线的通路是磁铁-纯铁片-振弦-磁铁，形成一个封闭的磁回路。第35页，共65页，星期日，2025年，2月5日（3）振弦夹紧装置传感器工作时振弦处于拉紧的状态，振弦两端必须与支架和运动部分固接，一般采用专门的夹紧装置。对它的要求是：①抗滑能力好，振弦在长期受拉或反复振动的情况下，夹头不松动；②加工简单，安装振弦方便，易拆卸，能反复使用，能任意调整弦的初始频率。第36页，共65页，星期日，2025年，2月5日2．工作原理要测量振弦固有频率f0的变化，必须先激发振弦起振，其激发方法有两种：（1）间歇激发法下图所示为间歇激发的振弦压力传感器的示意图。（2）连续激发法第37页，共65页，星期日，2025年，2月5日第38页，共65页，星期日，2025年，2月5日连续激发时，振弦也是置于电磁铁的磁场中，同时，振弦通以交变电流，由于电磁感应，振弦受到一个垂直于磁力线的作用力，从而激发振弦作频率等于其自振频率的周期运动。然而，同间歇激发一样，由于阻力作用，振弦的自振也将逐渐衰减，因此必须补给能量以维持振弦稳定的等幅振荡。第39页，共65页，星期日，2025年，2月5日当振弦受张力T作用时，其等效刚度发生变化，振弦的谐振频率f为式中?l——振弦的线密度（tex=g/km）；l——振弦的有效振动长度（m）。当弦的张力增加?T时，可得弦的振动频率f为第40页，共65页，星期日，2025年，2月5日单根振弦测压力时的非线性误差?为为了得到良好的线性，常采用差动式结构，如下图所示。上下两弦对称，初始张力相等，当被测量作用在膜片上时，两个弦张力变化大小相等、方向相反。通过差频电路测得两弦的频率差，则非线性误差大为减小