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第
18
卷第
3
期中国光学（中英文）Vol.
18No.
3
2025年5月Chinese
OpticsMay
2025
文章编号
2097-1842（2025）03-0452-08
用于冲击波测量的硅MEMS光纤法珀压力传感器
殷建雄，王军，王昊星，万顺，刘佳，贾平岗*
（中北大学
省部共建动态测试技术国家重点实验室,
山西
太原
030051）
摘要：本文提出了一种基于微机电系统(MEMS)的光纤法布里-珀罗压力传感器，可用于冲击波等瞬态压力测量。该传
感器敏感单元由深反应离子刻蚀(DRIE)后的单晶硅和BF33玻璃晶圆通过阳极键合制成，并通过激光熔接技术实现光
纤与敏感单元的无胶化集成。通过搭建信号解调实验平台，对静态和动态压力环境下的传感器性能进行测试。实验结
果表明，该传感器在0~10
MPa压力范围内具有良好的线性响应，满量程非线性误差为0.41%，迟滞为0.37%，传感器的
上升时间为8.5
μs。该传感器具备抗电磁干扰、可批量化制备、一致性高、成本低等优点，理论谐振频率为1.39
MHz，展
示了其在爆炸场等恶劣环境下进行动态压力测量的良好应用前景。
关
键
词：法布里-珀罗；冲击波；光纤传感器；压力测量
中图分类号：TP212
文献标志码：A
doi：10.37188/CO.2025-0010
CSTR：32171.14.CO.2025-0010
Fiber-optic
Fabry
Perot
pressure
sensor
for
shock
wave
measurements
based
on
silicon
MEMS
YIN
Jian-xiong，WANG
Jun，WANG
Hao-xing，WAN
Shun，LIU
Jia，JIA
Ping-gang*
（StateKeyLaboratoryofDynamicMeasurementTechnology,NorthUniversityofChina,
Taiyuan030051,China）
*
Correspondingauthor，E-mail:
pgjia@nuc.edu.cn
Abstract:
This
paper
proposes
a
fiber-optic
Fabry-Perot
pressure
sensor
based
on
microelectromechanical
systems
(MEMS)
technology
for
the
measurement
of
transient
pressures,
including
shock
waves.
The
sensit-
ive
unit
is
composed
of
etched
silicon
wafers
and
BF33
glass
wafers
by
anodic
bonding,
and
the
adhesive-
free
integration
of
the
optical
fiber
and
the
sensitive
unit
is
realized
by
laser
fusion
b
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