金刚石切削微纳结构：高精度在位测量关键技术的探索与突破.docx

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2025-10-24 发布于上海
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金刚石切削微纳结构：高精度在位测量关键技术的探索与突破

一、引言

1.1研究背景与意义

随着现代制造业的飞速发展，对零部件的精度和表面质量要求日益提高，微纳结构的加工制造在众多领域中发挥着至关重要的作用。金刚石切削作为一种超精密加工技术，能够实现对多种材料的高精度加工，生成具有纳米级表面粗糙度和亚微米级形状精度的微纳结构，被广泛应用于光学、电子、生物医学等领域。例如，在光学领域，金刚石切削可用于制造高精度的光学镜片、反射镜等元件，其表面质量直接影响光学系统的成像质量和性能；在电子领域，微纳结构的精确制造对于提高芯片性能、实现电子器件的小型化和集成化具有关键意义；在生物医学领域，微纳结构可用于