公司掩膜版制造工岗位工艺作业操作规程.docxVIP

PAGE

PAGE1

公司掩膜版制造工岗位工艺作业操作规程

文件名称：公司掩膜版制造工岗位工艺作业操作规程

编制部门：

综合办公室

编制时间：

2025年

类别：

两级管理标准

编号：

审核人：

版本记录：第一版

批准人：

一、总则

本规程适用于公司掩膜版制造工岗位的工艺作业操作。规程旨在确保员工在操作过程中的人身安全和设备安全，预防事故的发生。所有从事掩膜版制造工岗位的员工必须严格遵守本规程，确保生产过程的安全、稳定和高效。规程内容涵盖设备操作、材料处理、环境监测等方面，旨在保障员工的生命健康和公司财产的安全。

二、操作前的准备

1.防护用品穿戴规范：

a.操作前，员工需穿戴公司统一发放的工作服，保持整洁。

b.根据操作要求，正确佩戴护目镜、口罩、手套等防护用品，确保面部、呼吸道和手部不受有害物质侵害。

c.佩戴耳塞，减少噪音对听力的影响。

d.操作过程中，不得随意脱下或丢弃防护用品。

2.设备状态检查要点：

a.检查设备外观是否完好，无损坏、变形等现象。

b.检查设备各部件连接是否牢固，转动部件是否灵活。

c.检查设备电气线路、控制系统是否正常，无裸露电线、破损绝缘层等安全隐患。

d.检查设备润滑系统，确保各润滑点加注适量润滑油。

3.作业环境基本要求：

a.工作区域应保持整洁，无杂物堆积，确保通道畅通。

b.确保通风良好，室内温度、湿度符合要求。

c.检查地面防滑措施，防止操作过程中滑倒。

d.定期对作业环境进行清洁消毒，确保无有害物质残留。

三、操作的先后顺序、方式

1.设备操作流程：

a.启动设备前，确认设备处于待机状态，检查设备周围无障碍物。

b.按照设备操作手册，依次开启电源、控制系统等。

c.根据工艺要求，调整设备参数，如温度、压力、速度等。

d.加载掩膜版，确保版面平整，无异物。

e.启动设备，监控设备运行状态，确保操作过程中设备运行正常。

f.操作完成后，关闭设备，清理工作区域，关闭电源。

2.特定操作技术规范：

a.在进行掩膜版清洗时，使用规定的清洗剂和工具，避免使用硬质刷子或粗糙材料。

b.在进行曝光操作时，严格控制曝光时间，确保曝光均匀。

c.在进行显影处理时，严格按照显影液比例和温度要求进行操作。

3.异常情况处理程序：

a.发现设备异常，立即停止操作，切断电源。

b.检查设备故障原因，如设备损坏、操作失误等。

c.根据故障原因，采取相应措施，如更换零件、调整参数等。

d.在未排除故障前，不得重新启动设备。

e.如遇紧急情况，立即报告上级，并按照应急预案进行处理。

四、操作过程中机器设备的状态

1.正常状态指标：

a.设备运行平稳，无异常震动或噪音。

b.机器各部件温度正常，无过热现象。

c.设备显示屏幕显示正常，各项参数稳定。

d.传动带、齿轮等运动部件运行顺畅，无卡滞。

e.通风系统运行正常，工作环境温度和湿度适宜。

2.常见故障现象：

a.设备突然停止运行，无任何预警。

b.设备运行过程中出现剧烈震动或异常噪音。

c.显示屏出现故障，无法正常显示信息。

d.传动带或齿轮出现卡滞，影响设备运行。

e.通风系统故障，导致工作环境温度异常。

3.状态监控方法：

a.定期巡视设备，检查外观是否有损坏，运行是否有异常。

b.观察设备运行参数，如温度、压力、速度等，确保在正常范围内。

c.利用设备自带的监控系统和报警装置，实时监控设备运行状态。

d.记录设备运行数据，定期分析，发现潜在问题及时处理。

e.对设备进行定期维护保养，预防故障发生。

五、操作过程中的测试和调整

1.设备运行时的测试要点：

a.检查设备运行是否稳定，无异常振动和噪音。

b.测试设备的工作参数，如温度、压力、速度等，确保符合工艺要求。

c.检查设备控制系统是否响应迅速，无延迟现象。

d.观察设备各部件的运动轨迹，确保精确度和一致性。

2.调整方法：

a.根据测试结果，调整设备参数，如温度设定、曝光时间等。

b.检查设备传动系统，必要时进行润滑或更换磨损部件。

c.调整设备控制系统，确保操作响应灵敏。

d.检查设备对位系统，确保掩膜版位置精确。

3.不同工况下的处理方案：

a.若设备运行不稳定，首先检查设备基础固定是否牢固。

b.遇到设备参数偏差，分析原因后调整至正常范围。

c.遇到控制系统响应问题，检查传感器和执行器是否正常工作。

d.若设备出现故障，立即停止操作，根据故障手册进行故障排除。

e.在高温或低温工况下，检查设备散热和加热系统是否正常。

f.在湿度变化较大的工况下，确保设备防潮措施到位。

六、操作人员所处的位置和操作时的规范姿势

1.作业姿态：

a.