TFT制造原理和流程.ppt

TFT显示面板制造工程简介

2目录一、液晶显示器(LCD)的基础1.1液晶材料及液晶显示器的基本定义1.2液晶显示器的基础及原理二、TFT-LCD制造基本流程及设备2.1制造流程概要2.2ARRAY工艺流程及设备2.3CELL工艺流程及设备2.4Module工艺流程及设备

3一、液晶显示器(LCD)的基础1.1液晶材料及液晶显示器的基本定义液晶的发现1888年，奥地利植物学家F.Reinitzer在测量某些有机物熔点时发现：1889年，德国物理学家O.Lehmann发现：这类不透明的物体外观上属液体，但具有晶体特有的双折射性质，于是将其命名为“液态晶体”固态不透明浑浊状态透明液态加热冷却加热冷却

4一、液晶显示器(LCD)的基础液晶:一种液体状结晶性物质，介于固体(结晶)以及液体(非结晶)之间的第四状态(中间状态)，具有流动性以及各向异性(光学各向异性，如双折射效应).液晶显示器:利用外加电压以及液晶材料本身光学各向异性(如双折射效应以及旋光特性)，进而显示所需要的数字、文字、图形以及影像等功能的一种人机界面的信息、通讯、网络的系统。1.1液晶材料及液晶显示器的基本定义

5一、液晶显示器(LCD)的基础扩散?光学薄膜导光板荧光管接续电路基板驱动用LSITCPCF基板偏光板液晶盒Array基板液晶显示器的构造模式断面图1.2液晶显示器的基础及原理

6一、液晶显示器(LCD)的基础封框胶信号配线端子Gate配线端子ＴＦＴ基板CF基板Ag电极配向膜液晶面板的构造平面图(TFT型)1.2液晶显示器的基础及原理

7一、液晶显示器(LCD)的基础偏光板CF基板盒垫料转移电极(Ag)封框胶封框胶垫料取向膜TFT基板偏光板液晶BGRITOBM液晶面板的构造断面图(TN型)1.2液晶显示器的基础及原理

8一、液晶显示器(LCD)的基础彩膜空间混色法实现TFT－LCD彩色化TFT基板彩膜的结构偏光板TFT背光源偏光板液晶黑色矩阵提高对比度降低Ioff1.2液晶显示器的基础及原理

9二、TFT-LCD制造基本流程及设备２．CELL工程３．MODULE工程ＴＦＴ基板玻璃基板1100×1300成膜→光刻（反复）ＴＦＴ基板贴合彩膜取向→液晶滴下→贴合→切断(15型16片)面板端子接续电路基板安装背光源面板外框组装液晶面板完成2.1制造流程概要

10二、TFT-LCD制造基本流程及设备2.2ARRAY工艺流程及设备Ｇ工程ActiveS/Ｄ工程Ｃ工程ＰＩ工程检查(TN-1)检查(TN-2)ＴＮ：４MaskProcessCell工程Ｇate工程Active工程钝化层工程ITO工程检查(SFT-2)ＴＮ：５MaskProcess检查(SFT-1)Cell工程S/Ｄ工程Repair(TN-1)Repair(TN-2)Repair(SFT-1)Repair(SFT-2)Glass购入,洗净后使用Glass购入,洗净后使用

11ARRAY制造流程图

12TFTArray组成材料

13TFT–GATE电极形成

14TFT–Active(岛状半导体形成)

15TFT–S/D源漏电极形成

16TFT–钝化层及接触孔形成

17TFT–ITO像素电极形成

182.2ARRAY工艺流程及设备装料周转盒机械手传送装置UV药液喷淋刷洗高压喷射MS气刀传送装置机械手卸料洗浄

192.2ARRAY工艺流程及设备洗浄ＵＶ药液刷子高圧ＭＳＡ／ＫＰＤＡ排水Ｐ排水Ｐ纯水ＤＡ洗净功能洗净对象作用ＵＶ药液刷洗高压喷射ＭＳ氧化分解溶解机械剥离机械剥离机械剥离有机物(浸润性改善)有机物微粒子(大径)微粒子(中径)微粒子(小径)ＵＶ/Ｏ３溶解接触压水压加速度cavitation

20PVD（溅射）：物理气相沉积(PhysicalVaporDeposition)2.2ARRAY工艺流程及设备工艺室Ａ工艺室Ｂ搬送室工艺室Ｃ加热室进料室卸料室自动移栽装置

21PVD：物理气相沉积PVD(PhysicalVaporDeposition)阴极靶材阳极腔体泵基板2.2ARRAY工艺流程及设备

222.2ARRAY工艺流程及设备PECVD：电浆辅助化学气相沉积PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition

232.2ARRAY工艺流程及设备PECVD：电浆辅助化学气相沉积PlasmaEnhancedChemicalVaporDepositionプロセスヒートトランス