基于磁控溅射的氮化物薄膜摩擦与腐蚀性能研究.pdfVIP

2024年第53卷第10期热加工工艺ISSN1001-3814

Vol.53No.102024HotWorkingTechnologyCN61-1133/TG

DOI:10.14158/j.cnki.1001-3814.

http://www.rjrjggy@

表面工程专栏

基于磁控溅射的氮化物薄膜摩擦与腐蚀性能研究

刘凡,林诗翔,张明权,杨秀杰,唐正强

(贵州大学机械工程学院,贵州贵阳550025)

摘要院通过磁控溅射法在Ti45Nb合金表面溅射了TiN尧ZrN和ZrTiN无毒陶瓷薄膜遥采用扫描电镜尧X射线衍射

对样品的微观以及相结构进行了表征遥样品的摩擦磨损性能通过往复式摩擦试验机进行评价袁而其腐蚀性能通过Tafel

极化和电化学阻抗谱测量来评价遥结果表明院薄膜的结构都为面心立方结构袁且都沿渊200冤方向择优生长遥相比于TiN

和ZrN薄膜袁ZrTiN薄膜为合金化复合薄膜袁改变了TiN尧ZrN薄膜柱状晶生长模式袁由柱状晶生长转变为小单晶聚合生长

为多晶袁形成更加致密的薄膜遥此外袁与Ti45Nb合金相比袁不同氮化物薄膜改性的Ti45Nb合金的磨损率降低了两个数

量级袁其中ZrTiN薄膜具有最低的磨损率遥在模拟体液中袁ZrTiN薄膜改性的Ti45Nb合金的耐腐蚀性得到了一定的提高遥

关键词院磁控溅射曰氮化物薄膜曰摩擦磨损曰电化学腐蚀

中图分类号院TG174.4文献标识码院A文章编号院1001-3814(2024)10-0016-06

StudyonFrictionandCorrosionPropertiesofNitride

FilmsBasedonMagnetronSputterin

LIUFan,LINShixiang,ZHANGMingquan,YANGXiujie,TANGZhengqiang

(SchoolofMechanicalEngineering,GuizhouUniversity,Guiyang550025,China)

Abstract院Thenon-toxicceramicfilmsofTiN,ZrNandZrTiNweredepositedonthesurfaceofTi45Nballoybymagnetron

sputtering.ThemicroscopicandphasestructureofthesampleswerecharacterizedbyscanningelectronmicroscopyandX-ray

diffraction.Thefrictionandwearpropertiesofthesampleswereevaluatedbyareciprocatingfrictiontester,andtheir

corrosionpropertieswereeva