公司电子真空镀膜工标准化操作规程.docxVIP

PAGE

PAGE1

公司电子真空镀膜工标准化操作规程

文件名称：公司电子真空镀膜工标准化操作规程

编制部门：

综合办公室

编制时间：

2025年

类别：

两级管理标准

编号：

审核人：

版本记录：第一版

批准人：

一、总则

本规程适用于公司内部从事电子真空镀膜工作的所有员工。规程旨在确保电子真空镀膜操作的安全、稳定和高效，适用于所有电子真空镀膜设备的使用和维护。操作人员必须严格遵守本规程，确保自身和他人的安全，以及设备的安全运行。规程包括设备操作、安全防护、维护保养等方面，旨在规范操作流程，降低事故风险。

二、操作前的准备

1.防护用具的使用：

操作人员必须佩戴符合国家标准的防护用具，包括：

-安全眼镜：防止溅射物伤害眼睛。

-防尘口罩：减少吸入有害粉尘。

-手套：保护手部免受化学品腐蚀。

-耳塞或耳罩：降低噪音对听力的影响。

-工作服：穿着耐腐蚀、耐热的工作服，防止皮肤直接接触有害物质。

2.设备启机前的检查项目：

-确认设备处于断电状态，且紧急停止按钮处于启用状态。

-检查设备各部分是否有松动、损坏或异常现象。

-检查真空系统是否密封良好，有无泄漏。

-检查冷却系统是否正常工作，确保设备运行温度在安全范围内。

-检查气体供应系统是否正常，气体流量是否符合要求。

-检查控制系统是否灵敏，各按钮、开关功能正常。

-检查电源电压是否稳定，接地是否可靠。

3.作业区域的准备要求：

-确保作业区域清洁、无杂物，地面平整，无积水。

-检查通风系统是否正常，确保空气流通，排除有害气体。

-检查紧急出口和疏散通道是否畅通，标识清晰可见。

-在操作区域设置警示标志，提醒他人注意安全。

-检查消防器材是否齐全、有效，并放置在易取位置。

-确保操作人员熟悉紧急情况下的应急措施和逃生路线。

-准备好必要的工具和备品备件，以便在操作过程中使用。

在进行以上准备后，操作人员方可进行设备启动和操作。任何不符合安全要求的准备工作都应立即纠正，确保操作安全。

三、操作的先后顺序、方式

1.设备操作或工艺执行的步骤流程：

-开启总电源，待设备预热至规定温度。

-检查真空度是否达到要求，如未达标，调整泵或检查系统密封性。

-加载待镀膜样品，确保样品固定牢固。

-打开气体阀门，调节气体流量至规定值。

-启动辉光放电系统，开始真空镀膜过程。

-镀膜过程中，实时监控真空度、温度、气体流量等参数。

-达到镀膜时间后，关闭辉光放电系统。

-减少气体流量，降低真空度，取出镀膜样品。

-关闭总电源，进行设备冷却。

2.特殊工序的操作规范：

-对于不同材料或厚度的镀膜，需调整沉积速率、温度、真空度等参数。

-在进行多层镀膜时，需严格按照先底层后上层的顺序进行。

-对于要求特殊清洁度的样品，需在镀膜前进行严格的清洁处理。

-在进行高温镀膜时，需确保冷却系统工作正常，防止设备过热。

3.异常工况的处理方法：

-如发现真空度下降，应立即停止操作，检查系统是否存在泄漏。

-设备温度异常升高，应立即停止操作，检查冷却系统或气体流量。

-如果出现气体泄漏，应迅速关闭气体阀门，通知专业人员处理。

-在镀膜过程中，如样品出现翘曲、脱落等异常，应立即停止操作，检查样品固定情况。

-遇到紧急情况，如设备故障、火灾等，应立即启动应急预案，采取必要措施保障人员安全。

-操作人员需熟练掌握异常工况的处理流程，确保在紧急情况下能够迅速、正确地采取措施。

四、操作过程中机器设备的状态

1.设备运行时的正常工况参数：

-真空度：设备运行时，真空度应稳定在设定范围内，通常为1.3×10^-3Pa至1.0×10^-3Pa。

-温度：镀膜腔室温度应保持在设定的工作温度，通常为200°C至400°C，具体温度根据镀膜材料而定。

-气体流量：气体流量应稳定，并根据镀膜工艺要求调整，通常在0.1L/min至10L/min之间。

-电流：辉光放电电流应稳定，通常在数十毫安至数百毫安之间。

-压力：设备内部压力应保持恒定，不应有剧烈波动。

2.典型故障现象：

-真空度下降：可能由于系统泄漏、泵故障或阀门未关闭。

-温度过高或过低：可能是加热器故障、温度控制器失灵或气体流量不稳定。

-电流异常：可能是电极接触不良、电源问题或控制系统故障。

-噪音增大：可能是机械部件磨损、轴承损坏或气流不畅。

3.状态监测的操作要求：

-操作人员应定期检查设备各参数，确保其处于正常范围。

-使用高精度仪表监测真空度、温度、气体流量等关键参数。

-通过显示屏或监控软件实时监控设备运行状态。

-发现异常参数时，应立即停止设备运行，分析原因并采取相应措施。

-定期进行设备维护保养，检查机械部