清洗蓝光设备维护保养作业.pdfVIP

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发布日期版本号Rev.1

修订次数0受控状态B

1.0目的:

本文旨在规范蓝光机台之预防保养及维修作业,以产品制程中之品

质,与工作人员之安全。

2.0范围:

本适用于蓝光厨预防保养与维修作业

3.0保养程序:

实施保养作业前,必须确保机台处于静止状态,然后将机台上面杂物清理干净;保

养时,应将和手套以及需要的工具准备好,并做好各项安全措施;

保养时,必须按步就班保养项目且注意安全。

3.1保养步骤说明:

3.1.1设备的开机、关机应严格按照说明书要求进行。

A开机:接通水源、气源、调节各参数以确保在设备要求的范围内。

接通电源。

打开设备前部左上角的手动总闸,使之处于ON位置。

使设备操作面板左侧的急停开关处于弹起状态。

按下设备操作面板左侧的电源开关,指示灯亮,设备就绪。

进行工艺参数设置。

B开机:关掉照明灯(当照明灯亮时)。

关总电源。

关设备前部左上角的手动总闸,使之处于OFF位置。

关闭水源、气源。

3.1.2由于须加热的槽四周贴有加热膜,因此启动槽加热时,应注

满化学液,以免槽体干烧而损坏加热膜。

1.0Purpo

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