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发布日期版本号Rev.1
修订次数0受控状态B
1.0目的:
本文旨在规范蓝光机台之预防保养及维修作业,以产品制程中之品
质,与工作人员之安全。
2.0范围:
本适用于蓝光厨预防保养与维修作业
3.0保养程序:
实施保养作业前,必须确保机台处于静止状态,然后将机台上面杂物清理干净;保
养时,应将和手套以及需要的工具准备好,并做好各项安全措施;
保养时,必须按步就班保养项目且注意安全。
3.1保养步骤说明:
3.1.1设备的开机、关机应严格按照说明书要求进行。
A开机:接通水源、气源、调节各参数以确保在设备要求的范围内。
接通电源。
打开设备前部左上角的手动总闸,使之处于ON位置。
使设备操作面板左侧的急停开关处于弹起状态。
按下设备操作面板左侧的电源开关,指示灯亮,设备就绪。
进行工艺参数设置。
B开机:关掉照明灯(当照明灯亮时)。
关总电源。
关设备前部左上角的手动总闸,使之处于OFF位置。
关闭水源、气源。
3.1.2由于须加热的槽四周贴有加热膜,因此启动槽加热时,应注
满化学液,以免槽体干烧而损坏加热膜。
1.0Purpo
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