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研究发

十字型微谐振梁振型分析*

韩光2口李智查天任张秀礼2孙博

陆向辉口齐有军赵克宝2凤祥云2

1.河北建材职业技术学院河北秦皇岛066004

2.河北省建筑材料绿色智造应用技术协同创新中心河北秦皇岛066004

摘要：谐振式传感器具有高精度与高稳定性等显著优势，在众多领域得到广泛应用。针对谐振式

一一十字型微谐振梁。

传感器振动元件在实际应用中的需求，提出一种具有新型微梁结构的振动元件

利用光刻技术加工谐振梁样件，建立两端固定约束且中部带有集中质量的振动微分方程，进行振型分

析。利用拉普拉斯变换，对谐振梁振动微分方程进行求解，得到谐振梁各阶特征值，进一步推导出对应

振型函数，绘制振型图像，分析谐振梁不同阶次的振型特征。考虑时间函数对系统的影响，计算得到谐

振梁各点随时间变化的动态位移，从而揭示谐振梁动态特性。

关键词：谐振梁振型分析

中图分类号：TP212.1*2文献标志码：A

Abstract:Theresonantsensorhassignificantadvantagessuchashighprecisionandhighstability,andis

widelyusedinmanyfields.Anewtypeofvibrationelementwithmicrobeamstructure-thecrossshaped

microresonantbeamwasproposedtomeetthepracticalapplicationneedofresonantsensorvibrationelement.

Thevibrationdifferentialequationwithfixedconstraintsatbothendsandconcentratedmassinthemiddlewas

establishedtoperformvibrationmodeanalysisbyusingphotolithographytechnologytoprocessresonantbeam

sample.TheLaplacetransformwasusedtosolvethevibrationdifferentialequationoftheresonantbeam,and

thecharacteristicvalueofeachorderoftheresonantbeamwasobtained,furtherthecorrespondingvibration

modefunctionwasderived,andthemodeimagewasdrawntoanalyzethemodecharacteristicsoftheresonant

beamatdifferentorders.Consideringtheinfluenceoftimefunctiononthesystem,thedynamicdisplacementof

eachpointoftheresonantbeamovertimewascalculatedtorevealthedynamiccharacteristicoftheresonant

beam.

Keywords:ResonantBeamVibrationModeAnalysis

换为物体的谐振特性变化，如振动频率、相位、幅值等。

1石

研究背景

这些变化通过相应的测量电路转换为与被测物