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微型加速度传感器的设计与性能研究综述

目录

内容概览．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

1.1微观惯性传感器背景介绍．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

1.2加速度感知技术研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

1.3微型加速度传感器的定义与范畴．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8

1.4本文研究目的与组织结构．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

微型加速度传感器的原理与分类．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11

2.1基本工作机理分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

2.1.1惯性效应的物理基础．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16

2.1.2力平衡与位移转换方案．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18

2.2主要分类体系探讨．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19

2.2.1按结构振动模式划分．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22

2.2.2按能量转换方式分类．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23

2.2.3按输出信号类型区分．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．26

2.3常见传感原理详解．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．28

2.3.1压电式传感原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．33

2.3.2霍尔效应式传感原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．34

2.3.3恒力/变质量式传感原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．36

2.3.4新型传感原理探索．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．38

微型加速度传感器的设计关键．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．39

3.1结构设计优化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．41

3.1.1振动体材料选择．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．43

3.1.2机械悬浮与减振结构．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．45

3.1.3敏感元件微加工技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．48

3.2检测电路设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．50

3.2.1前置放大器电路．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．52

3.2.2滤波电路设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．54

3.2.3解调与信号处理技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．58

3.3材料科学与制造工艺．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．60

3.3.1关键材料特性要求．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．61

3.3.2微纳制造技术应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．64

3.3.3封装与集成技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．65

微型加速度传感器的性能表征．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．69

4.1性能指标体系构建．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．74

4.1.1基本静态特性参数．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．78

4.1.2主要动态特性参数．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．83

4.1.3稳定性与可靠性指标．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．84

4.2关键性能参数测试方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．89

4.2.1灵敏度与线性度测试．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．91

4.2.2零点漂移