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电容式加速度传感器工作原理数学表达式

1.核心物理模型基础

电容式加速度传感器通常采用平行板电容结构，核心由固定极板、可动质量块（含可动极板）和弹性支撑结构组成。其工作原理本质是：加速度作用下可动质量块产生位移，导致平行板电容的极板间距或重叠面积变化，通过检测电容变化量反推加速度大小。以下推导基于最常用的“极板间距变化型”结构（变间隙式）。

2.静态电容基本表达式

对于平行板电容器，忽略边缘效应时，静态电容（无加速度作用，极板间距为初始值）的数学表达式为：

C

式中各参数含义：

C0

ε0：真空介电常数（真空环境下\varepsilon_0\approx8.85\times10^{?12}\,\text{F/m}

εr：极板间介质的相对介电常数（空气介质时ε

S：两极板的重叠面积（单位：\text{m}^2）；

d0

3.加速度与极板位移的关系（力学平衡方程）

当传感器受到加速度a作用时，可动质量块在惯性力作用下产生沿加速度方向的位移x，直到弹性支撑的弹力与惯性力达到平衡（稳态时阻尼力可忽略）。根据牛顿第二定律和胡克定律，力学平衡关系为：

F_{\text{惯性}}=F_{\text{弹力}}

具体展开为：

ma=kx

式中各参数含义：

m：可动质量块的质量（单位：kg）；

a：传感器受到的加速度（单位：\text{m/s}^2）；

k：弹性支撑结构的刚度系数（单位：N/m）；

x：可动极板相对于固定极板的位移（单位：m；加速度与初始间距同向时x为正，极板间距增大）。

由力学平衡方程可解出位移与加速度的关系：

x=

4.位移与电容变化的关系

当可动极板产生位移x后，两极板的实际间距变为d=d0+x

C=

为便于检测，通常关注电容变化量ΔC=C?C0。将C和

ΔC=

由于传感器设计时通常保证位移x?d0（小位移假设，避免极板碰撞且保证线性特性），可近似

ΔC≈?

5.加速度与电容变化的核心关系

将位移与加速度的关系x=m

ΔC≈?

令灵敏度系数K=C

ΔC≈?Ka

式中负号表示：当加速度使极板间距增大（x0）时，电容变化量为负（电容减小）；实际应用中通常关注绝对值，或通过电路设计消除符号影响。

6.补充：差分结构的优化表达式

为提高灵敏度和抑制温度等干扰，实际传感器常采用差分结构（可动极板两侧各有一个固定极板）。设两侧初始电容均为C0，加速度作用下可动极板向一侧移动x，则两侧电容分别为C1=

\DeltaC_{\text{差分}}=C_1?C_2\approx\frac{2C_0m}{kd_0}a=2Ka

可见差分结构灵敏度是单极板结构的2倍，且抗干扰能力更强。