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垂直腔面发射激光器VCSEL的基本特征和性能指标分析概述

目录

垂直腔面发射激光器VCSEL的基本特征和性能指标分析概述1

1.1垂直腔面发射激光器VCSEL的基本特征1

1.1.1VCSEL的结构1

1.1.3自发辐射与受激辐射2

1.1.4VCSEL的工作原理2

1.1.5驰予象振荡2

1.2VCSEL的性能指标3

1.1.1电光延迟时间3

1.1.2上升时间3

1.1.2布拉格反射镜3

1.1.3受激辐射速率4

1.3VCSEL单模速率方程4

1.3.1氧化孔径特性5

1.3.2温度特性5

1.3.3电流阈值6

1.1垂直腔面发射激光器VCSEL的基本特征

1.1.1VCSEL的结构

一般VCSEL的结构如图2所示，它由三个部分组成，分别为：有源区、布

拉格反射镜、金属电极。其中，有源区位于N型掺杂和P型掺杂的两个布拉格

反射镜之间。为了减小阈值电流并提峰值功率，一般会在有源区中加入2〜4

个量子阱㈣。

图2VCSEEL基本结构

1

1.1.3自发辐射与受激辐射

导带中的电子和价带中的空穴复合，并辐射出一个能量接近带隙能量的光子,

这一过程称为自发辐射(见图4(a))。当光子在导带中有电子和价带中有空穴

的半导体中传输时，受激辐射过程将使光子数增加。图4(b)给出了受激辐射

过程前后电子的占据情况。光子在将电子从价带激发到导带的过程中会被吸收，

这一过程称为受激吸收［28】。

图4(a)自发辐射过程示意图；(b)受激辐射过程示意图

1.1.4VCSEL的工作原理

VCSEL是以直接带隙半导体为光增益介质的激光器，其核心是一个具有光

反馈结构的p-n结二极管，通常被称为激光二极管(如图5)。为二极管加上正电

压后，电子从n区移动到p区。在p-n结附近，电子和空穴复合而产生受激辐射，

在谐振腔内产生稳定的光振荡，端面发出激光囚】。

图5激示意图

1.1.5驰豫振荡

在注入电流后，载流子浓度和光子浓度均有一个弛豫过程。如图6所示，当

VCSEL的注入电流大于阈值电流时，有源区的载流子浓度逐渐上升，但光子浓

度几乎不变。在有源区的载流子浓度达到该激光器的阈值载流子浓度之后，载流

2

子发生受激辐射，产生光子。此时，有源区光子浓度上升，载流子浓度净增长速

度减低。经过一段时间后，载流子浓度和光子浓度达到动态平衡⑵］。

图6载流子浓度、光子浓度随时间变化

1.2VCSEL的性能指标

1.1.1电光延迟时间

当VCSEL进行脉冲调整时，需要解决电光延迟时间的问题，才能提脉冲

调制速率。从注入电流，到光脉冲达到最大光子数密度的10%所经历的时间，即

为电光延退时间tdo图5中ti之前的时间即为电光延迟时间。

电光延迟效应不仅会影响光脉冲的峰值,而且当电光延迟时间大于脉冲电流

宽度时，调制会完全失效。因此，对电光延迟时间的研究有助于让我们更加深入

地了解器件内部的载流子输运过程的。

1.1.2上升时间

上升时间tr,即光脉冲从最大光子数密度的10%,增加到最大光子数密度的

90%所用的时间。图5中ti到t2的时间，即为上升时间。

VCSEL在激光雷达测距的应用中，当光脉冲宽度相同时，脉冲的上升沿越

短,有效脉冲所占的比例就越大，相应的测距结果也就越精确。因此，为了保证

VCSEL输出数据的稳定性及可靠性，我们需要拥有尽可能小的上升时间的激光

信号。

1.1.2布拉格反射镜

布拉格反射镜(DBR)的基本结构如图3所示，它由多层介质组